矽烷即矽與氫的化合物，是一系列化合物的總稱，包括甲矽烷( SiH4) 、乙矽烷( Si2H6) 和一些更高級的矽氫化合物。目前應用最多的是甲矽烷。一般把甲矽烷簡稱做矽烷。
矽烷作為一種提供矽組分的氣體源，可用於製造高純度多晶矽、單晶矽、微晶矽、非晶矽、氮化矽、氧化矽、異質矽、各種金屬矽化物。 因其高純度和能實現精細控制，已成為許多其他矽源無法取代的重要特種氣體。矽烷廣泛應用於微電子、光電子工業， 用於製造太陽電池、平板顯示器、玻璃和鋼鐵鍍層， 並且是迄今世界上唯一的大規模生產粒狀高純度矽的中間產物。矽烷的高科技應用還在不斷出現, 包括用於製造陶瓷、複合材料、功能材料、生物材料、高能材料等等，成為許多新技術、新材料、新器件的基礎。矽烷又以它特有的自燃、爆炸性而著稱。矽烷有非常寬的自發著火範圍和極強的燃燒能量，決定了它是一種高危險性的氣體。
危害辨識
眼接觸：矽烷會刺激眼睛。矽烷分解產生無定型二氧化矽。眼睛接觸無定型二氧化矽顆粒會引起刺激。
吸入：1.吸入高濃度的矽烷會引起頭痛、噁心、頭暈並刺激上呼吸道。
2.矽烷會刺激呼吸系統及黏膜。過度吸入矽烷會引起肺炎和腎病，這是由於存在結晶二氧化矽的原因。
3.暴露於高濃度氣體中還會由於自燃而造成熱灼傷。
攝入：攝入不可能成為接觸矽烷的途徑。
皮膚接觸：矽烷會刺激皮膚。矽烷分解產生無定型二氧化矽 。皮膚接觸無定型二氧化矽顆粒會引起刺激。
慢性症狀：如今不清楚長期暴露於矽烷中對健康的進一步影響。
損害器官：未建立
過度暴露造成的病情惡化 ：有皮膚和呼吸道疾病的人暴露在矽烷及其分解物中會加重病情。
致癌性：未被 NTP、OSHA及IARC列為致癌物。
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