高速外延片PL譜掃描成像儀研製

高速外延片PL譜掃描成像儀研製

儀器信息網

2016/03/15 15:12:19 點擊 204 次

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[導讀] 高速外延片PL譜掃描成像儀利用線雷射器激發螢光光譜，利用光譜儀及面陣EMCCD對線螢光採集和光譜分析。這種螢光光譜採集方式較傳統點掃描方式，採集速度快，可在短時間內獲得高密度點的光譜信息，即1分鐘內實現4萬點的掃描採集,採集速度提高20倍，波長測量重複精度優於±0.5nm，光強度穩定性優於±0.75%。

成果名稱	高速外延片PL譜掃描成像儀
單位名稱	北京中拓機械集團有限責任公司
聯繫人	徐傑	聯繫郵箱	[e-mail]
成果成熟度	□正在研發 √已有樣機 □通過小試 □通過中試 □可以量產
合作方式	□技術轉讓   □技術入股   □合作開發   √其他
成果簡介：          高速外延片PL譜掃描成像儀利用線雷射器激發螢光光譜，利用光譜儀及面陣EMCCD對線螢光採集和光譜分析。這種螢光光譜採集方式較傳統點掃描方式，採集速度快，可在短時間內獲得高密度點的光譜信息，即1分鐘內實現4萬點的掃描採集,採集速度提高20倍，波長測量重複精度優於±0.5nm，光強度穩定性優於±0.75%。
應用前景：      該設備主要用於LED半導體晶片的螢光光譜檢測及太陽能晶片的檢測，其中LED半導體晶片螢光光譜檢測的市場年需求量約50臺，市場銷售額約為4000萬元人民幣，針對太陽能晶片螢光光譜測量領域，目前己有設備只能測得螢光光譜強度，並不能獲得螢光光譜譜線形狀，及光譜波長等細信息，該設備可快速獲得太陽能晶片的螢光光強及光譜信息，具有獨特的技術優勢，預計太陽能晶片的市場年需求量約在20臺左右，市場銷售額約為2000萬元人民幣。
智慧財產權及項目獲獎情況：      該產品獲得3項發明專利：半導體晶片的高速螢光光譜檢測裝置、半導體晶片的託起裝置、半導體晶片的檢測裝置。      該項目獲得北京市科委「2014年首都科技條件平臺科學儀器開發培育項目」的專項資金資助。

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