MEMS 發表於 2020-11-25 15:12:52
據麥姆斯諮詢報導,半導體測試領導廠商思達科技,近日宣布推出晶圓級光學器件測試解決方案——思達阿波羅Apollo WLBI。這款新系統是通過包括傳統的電子量測,加上光學監控的高度平行量測能力和替換測試時間,滿足5G光學器件的晶圓級老化測試需求。
思達阿波羅Apollo WLBI 全方位測試解決方案
思達阿波羅Apollo WLBI是先進集成的全方位測試解決方案,整套設備包含訂製的模塊化Apollo WLBI Per-pin SMU測試系統、Magic A200e探針臺和垂直探針卡。Apollo WLBI可以從測試通道數量、電壓、電流位準、靜態或動態設定等等進行配置。由於每個Per-pin SMU有超過6000個通道,電壓和電流範圍不同,此系統可對每個通道進行尋源和監控,以確定被測器件隨時間推移是通過或是失敗。
思達阿波羅Apollo WLBI Per-pin SMUs測試系統
同時,探針臺設計了熱夾頭,在平行器件老化循環可以具有高功率和800W的散熱能力,使得器件在老化過程中,能夠保持在工作溫度的條件。探針臺還包括了一個高溫和機械穩定性的探針卡轉接器(>6000 pins),專利的真空密封界面,用在和測針卡進行恆定的電子和光學接觸。高負載Z軸移臺可在夾頭上施加超過400公斤的探測力,且平面性變化小於10um,進而確保老化循環中良好的探測接觸。
高針數探針卡界面
800W高耗散熱夾頭
思達科技執行長劉俊良博士說,」思達阿波羅Apollo WLBI是先進的集成測試解決方案,支持行業客戶在5G光學器件的測試需求。用戶也可以通過射手座Sagittarius系列的測試平臺,以較低的成本來管理整個測試程序。」
責任編輯:lq
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