加速度傳感器的分類、工作原理與內部結構

　　加速度傳感器是一種能夠測量加速度的傳感器。通常由質量塊、阻尼器、彈性元件、敏感元件和適調電路等部分組成。傳感器在加速過程中，通過對質量塊所受慣性力的測量，利用牛頓第二定律獲得加速度值。根據傳感器敏感元件的不同，常見的加速度傳感器包括電容式、電感式、應變式、壓阻式、壓電式等。

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　　加速度傳感器，包括由矽膜片、上蓋、下蓋，膜片處於上蓋、下蓋之間，鍵合在一起；一維或二維納米材料、金電極和引線分布在膜片上，並採用壓焊工藝引出導線；工業現場測振傳感器，主要是壓電式加速度傳感器。其工作原理主要利於壓電敏感元件的壓電效應得到與振動或者壓力成正比的電荷量或者電壓量。目前工業現場典型採用IEPE型加速度傳感器，及內置IC電路壓電加速度傳感器，傳感器輸出與振動量正正比的電壓信號。

　　加速度傳感器的分類

　　壓電式

　　壓電式加速度傳感器又稱壓電加速度計。它也屬於慣性式傳感器。壓電式加速度傳感器的原理是利用壓電陶瓷或石英晶體的壓電效應，在加速度計受振時，質量塊加在壓電元件上的力也隨之變化。當被測振動頻率遠低於加速度計的固有頻率時，則力的變化與被測加速度成正比。

　　壓阻式

　　基於世界領先的MEMS矽微加工技術，壓阻式加速度傳感器具有體積小、低功耗等特點，易於集成在各種模擬和數字電路中，廣泛應用於汽車碰撞實驗、測試儀器、設備振動監測等領域。

　　電容式

　　電容式加速度傳感器是基於電容原理的極距變化型的電容傳感器。電容式加速度傳感器/電容式加速度計是對比較通用的加速度傳感器。在某些領域無可替代，如安全氣囊，手機行動裝置等。電容式加速度傳感器/電容式加速度計採用了微機電系統（MEMS）工藝，在大量生產時變得經濟，從而保證了較低的成本。

　　伺服式

　　伺服式加速度傳感器是一種閉環測試系統，具有動態性 能好、動態範圍大和線性度好等特點。其工作原理，傳感器的振動系統由 「m-k」系統組成，與一般加速度計相同，但質量m上還接著一個電磁線圈，當基座上有 加速度輸入時，質量塊偏離平衡位置，該位移大小由位移傳感器檢測出來，經伺服放大器 放大後轉換為電流輸出，該電流流過電磁線圈，在永久磁鐵的磁場中產生電磁恢復力，力圖使質量塊保持在儀表殼體中原來的平衡位置上，所以伺服加速度傳感器在閉環狀態下工作。由於有反饋作用，增強了抗幹擾的能力，提高測量精度，擴大了測量範圍，伺服加速度 測量技術廣泛地應用於慣性導航和慣性制導系統中，在高精度的振動測量和標定中也有應用。

　　加速度傳感器的工作原理

　　線加速度計的原理是慣性原理，也就是力的平衡，A（加速度）=F（慣性力）/M（質量）我們只需要測量F就可以了。怎麼測量F？用電磁力去平衡這個力就可以了。就可以得到 F對應於電流的關係。只需要用實驗去標定這個比例係數就行了。當然中間的信號傳輸、放大、濾波就是電路的事了。

　　現代科技要求加速度傳感器廉價、性能優越、易於大批量生產。在諸如軍工、空間系統、科學測量等領域，需要使用體積小、重量輕、性能穩定的加速度傳感器。以傳統加工方法製造的加速度傳感器難以全面滿足這些要求。於是應用新興的微機械加工技術製作的微加速度傳感器應運而生。這種傳感器體積小、重量輕、功耗小、啟動快、成本低、可靠性高、易於實現數位化和智能化。而且，由於微機械結構製作精確、重複性好、易於集成化、適於大批量生產，它的性能價格比很高。可以預見在不久的將來，它將在加速度傳感器市場中佔主導地位。

　　微加速度傳感器有壓阻式、壓電式、電容式等形式。

　　壓電式傳感器是利用彈簧質量系統原理。敏感芯體質量受振動加速度作用後產生一個與加速度成正比的力，壓電材料受此力作用後沿其表面形成與這一力成正比的電荷信號。壓電式加速度傳感器具有動態範圍大、頻率範圍寬、堅固耐用、受外界幹擾小以及壓電材料受力自產生電荷信號不需要任何外界電源等特點，是被最為廣泛使用的振動測量傳感器。雖然壓電式加速度傳感器的結構簡單，商業化使用歷史也很長，但因其性能指標與材料特性、設計和加工工藝密切相關，因此在市場上銷售的同類傳感器性能的實際參數以及其穩定性和一致性差別非常大。與壓阻和電容式相比，其最大的缺點是壓電式加速度傳感器不能測量零頻率的信號。

　　

　　壓電式加速傳感器的結構如圖所示。在兩塊表面鍍銀的壓電晶片（石英晶體或壓電 陶瓷）間夾1片金屬薄片，並引出輸出信號的引線。在壓電晶片上放置1塊質量塊，並用硬彈 簧對壓電元件施加預壓縮載荷。靜態預載荷的大小應遠大於傳感器在振動、衝擊測試中可能 承受的最大動應力。這樣，當傳感器向上運動時，質量塊產生的慣性力使壓電元件上的壓應力 增加；反之，當傳感器向下運動時，壓電元件的壓應力減小，從而輸出與加速度成正比例的電 信號。

　　傳感器整個組件裝在一個原基座上，並用金屬殼體加以封罩。為了隔離試件的任何應變 傳遞到壓電元件上去，基座尺寸較大。測試時傳感器的基座與測試件剛性連接。當測試件的振動頻率遠低於傳感器的諧振頻率時，傳感器輸出電荷（或電壓）與測試件的加速度成正比，經 電荷放大器或電壓放大器即可測出加速度。

　　應變壓阻式加速度傳感器的敏感芯體為半導體材料製成電阻測量電橋，其結構動態模型仍然是彈簧質量系統。現代微加工製造技術的發展使壓阻形式敏感芯體的設計具有很大的靈活性以適合各種不同的測量要求。在靈敏度和量程方面，從低靈敏度高量程的衝擊測量，到直流高靈敏度的低頻測量都有壓阻形式的加速度傳感器。同時壓阻式加速度傳感器測量頻率範圍也可從直流信號到具有剛度高，測量頻率範圍到幾十千赫茲的高頻測量。超小型化的設計也是壓阻式傳感器的一個亮點。需要指出的是儘管壓阻敏感芯體的設計和應用具有很大靈活性，但對某個特定設計的壓阻式芯體而言其使用範圍一般要小於壓電型傳感器。壓阻式加速度傳感器的另一缺點是受溫度的影響較大，實用的傳感器一般都需要進行溫度補償。在價格方面，大批量使用的壓阻式傳感器成本價具有很大的市場競爭力，但對特殊使用的敏感芯體製造成本將遠高於壓電型加速度傳感器。

　　電容型加速度傳感器的結構形式一般也採用彈簧質量系統。當質量受加速度作用運動而改變質量塊與固定電極之間的間隙進而使電容值變化。電容式加速度計與其它類型的加速度傳感器相比具有靈敏度高、零頻響應、環境適應性好等特點，尤其是受溫度的影響比較小；但不足之處表現在信號的輸入與輸出為非線性，量程有限，受電纜的電容影響，以及電容傳感器本身是高阻抗信號源，因此電容傳感器的輸出信號往往需通過後繼電路給於改善。在實際應用中電容式加速度傳感器較多地用於低頻測量，其通用性不如壓電式加速度傳感器，且成本也比壓電式加速度傳感器高得多。

　　加速度傳感器可應用在控制，手柄振動和搖晃，儀器儀表，汽車制動啟動檢測，地震檢測，報警系統，玩具，結構物、環境監視，工程測振、地質勘探、鐵路、橋梁、大壩的振動測試與分析；滑鼠，高層建築結構動態特性和安全保衛振動偵察上。

　　目前，大部分設備都提供了可以檢測各個方向的加速度傳感器。以iOS設備為例，我們利用了其三軸加速度傳感器（x，y，z軸代表方向如圖）的特性來分析。分別用以檢測人步行中三個方向的加速度變化。

　　

　　用戶在水平步行運動中，垂直和前進兩個加速度會呈現周期性變化，如圖所示。在步行收腳的動作中，由於重心向上單只腳觸地，垂直方向加速度是呈正向增加的趨勢，之後繼續向前，重心下移兩腳觸底，加速度相反。水平加速度在收腳時減小，在邁步時增加。

　　

　　反映到圖表中，可以看到，在步行運動中，垂直和前進產生的加速度與時間大致為一個正弦曲線，而且在某點有一個峰值。其中，垂直方向的加速度變化最大，通過對軌跡的峰值進行檢測計算和加速度閥值決策，即可實時計算用戶運動的步數，還可依此進一步估算用戶步行距離。

　　

　　因為用戶在運動中可能用手平持設備，或者將設備置於口袋中。所以，設備的放置方向不定。為此，通過計算三個加速度的矢量長度，我們可以獲得一條步行運動的正弦曲線軌跡。

　　第二步是峰值檢測，我們記錄了上次矢量長度和運動方向，通過矢量長度的變化，可以判斷目前加速度的方向，並和上一次保存的加速度方向進行比較。如果是相反的，即是剛過峰值狀態，則進入計步邏輯進行計步，否則捨棄。通過對峰值的次數累加，可得到用戶步行的步伐。

　　最後，就是去幹擾。手持設備會有一些低幅度和快速的抽動狀態，或是我們俗稱的手抖，或者某個惡作劇用戶想通過短時快速反覆搖動設備來模擬人走路，這些幹擾數據如果不剔除，會影響記步的準確值，對於這種幹擾，我們可以通過給檢測加上閥值和步頻判斷來過濾。

　　加速度傳感器的結構

　　應變式傳感器加速度測試原理如圖1所示，它通過測試慣性力引起彈性敏感元件的變形換算出力的關係。

　　

　　1. 壓電效應及壓電材料

　　圖2表示晶體切片在z軸和y軸方向受壓力和拉力時電荷產生方向的情況。

　　

　　2. 壓電傳感器的結構及特性

　　壓電傳感器一般由兩片或多片壓電晶體粘合而成，由於壓電晶片有電荷極性，因此接法上分成並聯和串聯兩種（如圖3所示）。

　　

　　3. 壓電傳感器的應用

　　壓電加速度測試傳感器的結構如圖4 所示