真空斷路器具有很多優點，所以在變電站上應用很多。由於採用了特殊的真空元件，隨著近年來製造水平的提高，滅弧室部分的故障明顯降低。真空滅弧室無需檢修處理，當其損壞時，只能採取更換。真空斷路器運行中發生的故障以操作機構部分所佔比重較大，其次為一次導電部分，觸頭導電桿等。下面對真空斷路器常發生的故障進行分析和處理，有如下幾個方面：
1.真空度降低
運行中真空斷路器滅弧室的真空度低於6.6x10-2pa，新出廠的真空滅弧室低於7.5x10-4pa，即為不合格，造成真空度降低的原因有：真空滅弧室漏氣，主要是焊縫不嚴密或密封部位存在微小漏孔造成
真空滅弧室內部金屬材料含氣釋放，這種情況是在真空滅弧室最初幾次放電過程中使真空度在一段時間內下降，微量氣體排盡後，真空度就維持在一定水平上
常用檢查真空度的方法：
①火花計法：這種方法簡單，只可做定性檢查，讓火花計觸絲在開關管表面移動，觀察管內發光情況，若是淡青色，可判定真空度合格，若為紅藍色，可判斷滅弧室已失效，此種方法不適用於陶瓷外殼滅弧室。
②觀察開斷電流時的弧光，正常應為淡青色，若弧光為紫紅色可判斷滅弧室已失效。
③工頻耐壓法：對於10KV真空開關管在斷口加42KV1min工頻電壓應合格。
④真空度測試儀法處理方法：真空度降低後應更換真空滅弧室。
2.滅弧室觸頭電磨損
真空滅弧室觸頭接觸面經過多次開斷電流後，會逐漸被磨損燒灼(通常稱為電磨損)，觸頭厚度減小波紋管行程變大，接觸電阻增大，這對開關的滅弧性能和導電性能會產生不利影響，在檢修中開關超行程的變化就是觸頭的電磨損。當電磨損值達到廠家規定時，滅弧室就不能繼續使用。電磨損可用檢查滅弧室動導電桿伸出導相板長度的變化情況，如果變化量超出了3mm，即磨損嚴重，也可用定性的方法即測量接觸電阻，一般要求測量值不大於出廠值的1.2倍。處理方法：觸頭電磨損嚴重，達到或超過規定值時，必須更換真空管，並三相一同更換。如未超規定或接觸電阻明顯增大但未超規定值時，可對觸頭間隙進行調整後繼續使用。但應測滅弧室的真空度，如滅弧室不滿足要求，也應該更換。
3.真空斷路器拒分的原因及查找方法
3.1電氣迴路故障
①直流電壓過低；②操作保險及掉閘迴路元件接觸不良或短線；
③掉閘線圈斷線；④開關低電壓不合格；⑤小車或開關連鎖接點接觸不良。
3.2機械迴路故障
①三連板三點過低；②掉閘頂杆卡勁或脫落；③合閘緩衝偏移、滾輪及緩衝杆卡勁。查找方法：電動掉閘失靈時，應先判斷是電氣迴路故障還是機械迴路故障，當頂杆鐵心不動，則說明是掉閘迴路，否則是機械迴路故障，然後再進一步找出原因。當發現開關掉閘失靈時應以手動託開。
4.真空斷路器拒合且出現跳躍的原因及處理方法
4.1電磁操作機構的合閘鐵心頂杆長度不夠，應調整鐵心頂杆長度使其滾輪和託架之間間隙符合2±0.5mm的要求。
4.2輔助開關斷開過早，此時調整輔助開關拉杆長度使其在斷路器觸頭閉合之後再斷開。
4.3彈簧儲能操作機構合閘彈簧限位不可靠、合閘不到位，合閘彈簧儲能結束，但電機電位不能切斷
5.彈簧儲能開關合不上閘
5.1合閘簧功率不夠，更換合閘簧。
5.2開關合閘時處於半分半合狀態，調整凸輪與滾輪間隙使之增大，調整超程使之減小。