日本Gigaphoton公司2016年6月24日宣布,開發出了用於製造平板顯示器(FPD)的極小雷射退火工序用準分子雷射器「GIGANEX」系列。不久前將該雷射器配備在日本V-Technology公司的極小雷射退火裝置上,供貨給了大尺寸液晶屏製造設備工廠用於LTPS(低溫多晶矽)TFT液晶面板製造。
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「GIGANEX」準分子雷射器的機殼示意圖(照片出自Gigaphoton的新聞發布資料)
這是一款應用高可靠性半導體光刻用準分子雷射器的退火用準分子雷射器,是專供V-Technology製造的裝置使用的專用機。通過導入已有的a-Si(非晶矽)面板製造工序,使a-Si向p-Si(多晶矽)結晶化,可製造用以往a-Si無法製造的8K等高精細面板。
另外還可實現以往雷射退火工藝無法實現的大型面板尺寸的製造,可滿足製造50~70英寸TV面板的大尺寸液晶製造設備工廠的要求。
GIGANEX是面向FPD製造、柔性器件工藝及光刻以外的半導體製造等領域的準分子雷射器產品的新品牌。Gigaphoton已在5月22~27日於美國舉行的「Display Week 2016」上,展出了用GIGANEX製造的試製面板。