「兵器造」人體測溫用高精度MEMS紅外溫度傳感器技術實現突破

2021-01-20 中國兵器工業集團


高性能耳溫槍、額溫槍等非接觸測溫工具是當前對大規模人員進行發熱篩查的主要工具之一，而其核心部件MEMS紅外溫度傳感器長期主要依賴進口。近日，中國兵器工業集團電子院華東光電集成器件研究所通過技術攻關，已完成傳感器晶片各類單項試驗，性能指標精度達到0.1℃，抗幹擾能力優於目前市場主流產品。



（圖為封裝後的MEMS紅外智能傳感器晶片）


針對疫情防控、復工復產對高性能耳溫槍和額溫槍等非接觸人體測溫工具MEMS紅外傳感器的迫切需求以及用戶上百萬顆的訂貨需求，華東光電集成器件研究所自1月底緊急調整產品研製計劃，提前復工復產，組建黨員突擊隊和技術攻關小組，24小時不間斷輪班開展研製工作，目前已完成傳感器晶片各類單項試驗，預計在3月底完成晶片樣品研製。同時華東光電集成器件研究所還採購全自動化組封裝關鍵設備、補充晶片製造的關鍵設備，推動傳感器晶片製造、組封裝的國產化，月產能將從目前的2萬顆提升到100萬顆以上，4月初可大量投放市場。 



 圖為傳感器晶片封裝現場


作為國家發改委MEMS國家地方聯合工程實驗室和兵器工業集團微系統製造技術創新中心，華東光電集成器件研究所具有MEMS傳感器晶片設計、製造、封裝、測試等完整的科研能力，通過技術創新取得MEMS傳感器多項技術成果，下一步將開發相關測溫產品，滿足疫情防控、復工復產等高精度人體測溫需要。


來源/電子院

責任編輯/劉坤   校對/王鵬宇   初審/張天一
審核/亞波

監製/木易林



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