半導體商城 | STM7系列測量顯微鏡(上)

2021-01-20 半導體商城


寶懌（天津）科技有限公司是工業檢測技術和系統集成商。是日本奧林巴斯（OLYMPUS）株式會社工業顯微鏡，半導體檢查系統，工業內窺鏡及美國布魯克(BRUKER)原子力顯微鏡，臺階儀器的代理商。致力於為工業製造和科研領域用戶提供顯微分析，圖像分析，缺陷識別和檢驗, 無損探查, 品質管理, 計量，過程控制等專業檢測設備，依託強有力的技術資源及完善專業的售後服務與維修體系，向用戶提供專業成熟細緻的服務及全面地解決方案。


STM7系列採用了當前最先進光學顯微鏡中所使用的UIS2無 限遠校正光學系統。因此，觀察到的圖像具有高解析度和高 對比度，此外，像差也被完全消除，以確保實現對微小細節 的高精度測量。

為了進一步保證測量精度，STM7系列採用了一個配備花 崗巖基座的高度耐用和防振動的鏡架。由於花崗巖的高穩 定性，使測量可到達亞微米水平，同時確保最大程度地降 低誤差。

隨著現代製造技術日益小型化和精密化，高精度測量也日趨 重要——不僅是XY軸平面的測量，而且Z軸方向的高精度測 量也成為必須。奧林巴斯成為首家成功開發了測量顯微鏡用 採用主動反射、共聚焦方法的自動聚焦系統的公司，以此響 應了這種與日俱增的需求。

奧林巴斯通過一個嚴格的可追溯系統控制測量顯微鏡的精 確度。並且在安裝系統時奧林巴斯也提供了可追溯的校準 服務。

無論待測樣品是大的還是小的，測量內容是簡單的還是複雜的，測量人員是新手還是專家，奧林巴斯STM7系列 就是能滿足您需求、為您量身打造的測量顯微鏡產品。

STM7的陣容

每一種機型均配備0.1 μm讀數的3軸測量系統

覆蓋範圍廣:載物臺 提供適合您樣品尺寸的載物臺 正方形行程解決了測量相關的困擾和問題

共有四種獨特的正方形測量行程的載物臺可供選用，分別為:50 mm×50 mm、100 mm×100 mm、200 mm×200 mm 和300 mm×300 mm。不管是大的樣品還是小的樣品，總有一款載物臺會適合您要測量的樣品。

正方形行程解決了測量操作過程中遇到的難題

300 mm長的方形載物臺在X軸和Y軸方向上可以提供相同 的測量行程，這意味著可以不旋轉樣品就實現大型樣品的全 部測量，比如300 mm的晶圓和印刷電路板。




離合器控制可以在粗調和微調之間實現快速切換

採用離合器系統可以在粗調和微調之間實現快速切換。具備 了這種切換功能之後，載物臺也可以沿著X軸和Y軸方向迅 速移動，並且可以在XY平面上自由穿梭。


覆蓋範圍廣:光學元件 

獨特的適配器拓寬了觀察的倍率範圍和工作距離的範圍，擴展了觀察的可能性。


使用相同的顯微鏡進行低倍率和高倍率觀察

STM7可以通過安裝一個測量物鏡適配器使用測量物鏡，而更換為物鏡轉盤後，便可使用金相物鏡。這意味著， STM7將金相 光學系統和測量光學系統同時結合在一臺測量顯微鏡中。通過這種方式，無論是測量大型樣品還是精細樣品，或是表面高度差 異大的樣品，STM7系列都可以對應並協助用戶選擇最佳的觀察方法。


由於測量物鏡具有非常長的工作距離，因此可以在對表面起 伏較大的樣品進行聚焦的時候，無需擔心物鏡與樣品之間發 生接觸。此外，藉助測量物鏡的低倍率能力，可以一次觀察 到較大的視場。

使用STM7測量物鏡接口適配器可以方便地從金相物鏡切換 到測量物鏡。

金相物鏡

可以得到和光學顯微鏡相媲美的高倍率和高解析度觀察能 力。更重要的是，在明場觀察之外還可以對應暗場，偏光 和微分幹涉觀察。


寶懌（天津）科技服務對象涵蓋科研院校，航空航天，冶金，電力，地質，石油石化等材料研究行業，機械及微機械領域，以及電子領域，光電顯示製造,電子零件製造, 半導體，液晶及MEMS,NANO等諸多領域，為用戶提供最先進的儀器和完善的解決方案，為用戶工作提供最強有力的技術支持。




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