Park 原子力顯微鏡發布AFM新品:針對新一代顯示器,最大樣品2200 mm!

儀器信息網訊 6月23日，知名原子力顯微鏡（AFM）製造商Park原子力顯微鏡公司（Park Systems Inc.）宣布推出高解析度、自動化原子力顯微鏡新品——Park NX-TSH，據介紹，Park NX-TSH的龍門架設計平板式探針掃描器專為最新一代顯示器工廠的應用需求研發設計，最大樣品可以測到2200 mm。另外，其模塊化設計還可在提供樣品3D形貌的同時提供微區電流測量。

產品研發背景：迎合OLED新興市場帶來照明和屏幕技術的需求

有機發光二極體(OLED)技術由於其扁平、薄如紙、柔韌性，並且具有漫射光的能力，該技術有望在未來幾年顯著推動市場增長。

數據顯示，OLED面板市場在2020-2025年期間將以12.9％的複合年增長率增長，到2025年將達到455.5億片。儘管受全球新型冠狀病毒疫情影響而總體上將出現小幅下滑，但業內專家仍預計OLED面板將成為全球採用的一種重要的顯示技術趨勢，且屏幕尺寸將更大，解析度將提高到8K，並將具有新的外形規格。

為了迎合OLED市場的需求，原子力顯微鏡製造商Park 原子力顯微鏡開發了Park NX-TSH，擴大了其Gen8 +和所有大型平板顯示器的AFM工具。為製造下一代平板顯示器製造商而開發，以克服300 mm樣品尺寸的限制。

Park NX-TSH：用於大樣品分析，最大樣品2200 mm！

尖端掃描頭（TSH）是一種自動移動的掃描頭，適用於對OLED，LCD，光子學用於最大尺寸達2200 mm的大樣品進行工業AFM測量，用於大樣品分析。自動的尖端掃描頭採用氣載臺技術，可將x，y，z掃描儀直接移動到基板上的所需位置。

「Park NX-TSH專為生產製造下一代平板顯示器的半導體廠（fab）開發設計，並克服了300 mm的門檻限制。」Park市場部副總裁Keibock Lee談道。

自動化的Park NX-TSH系統通過龍門式尖端掃描儀系統克服了納米計量學的挑戰，該系統可直接移動到樣品上的某個位置，並生成粗糙度測量，臺階高度測量，臨界尺寸和側壁測量的高解析度圖像。

Park NX-TSH可以在x，y和z方向上掃描針尖，最大掃描方向為100 µm x 100μm（x-y方向），z方向為15μm，並具有靈活的卡盤，可容納大型和重型樣品。隨著對更大尺寸的平板顯示器的需求增加到65英寸，75英寸甚至更多。Park NX-TSH通過自動尖端掃描系統克服了這些挑戰，而在龍門式尖端掃描儀系統中克服了納米計量學的挑戰。

Park NX-TSH專為Gen8+和所有大平板顯示器研發，不僅能夠進行納米級尺寸測量，也可進行微區電性測試。同時，Park NX-TSH還可以兼容多種型號機械手臂，實現自動化測量。

該全自動Park NX-TSH系統專為超大樣品量身訂造，掃描器可以固定在龍門架上，並能提供高解析度的粗糙度測量，步長測量，臨界尺寸和側壁測量。

Park NX-TSH將樣品固定在樣品卡盤上，連接到機架的尖端掃描頭移動到表面樣品的測量位置。這也使得Park NX-TSH尖端掃描頭系統克服了樣品尺寸和重量的限制。

原子力顯微鏡是一種準確、無損的納米級樣品測量方法，使用Park NX-TSH，可以在龍門式橋架上的OLED，LCD等上獲得可靠的高解析度AFM圖像，從而系統的提高生產率和質量。

值得關注的是，Park 原子力顯微鏡將參加6月27日-29日上海新國際博覽中心舉辦的Semicon China，並在展位E7549上現場演示新品Park NX-TSH和NX-Photomask，並將在稍後舉行的SEMICON West展會上進行線上產品展示秀。屆時，大家感興趣可以現場觀摩諮詢。（地址：上海新國際博覽中心；時間：2020年6月27-29日；展位：E7 7549）

關於Park原子力顯微鏡

Park原子力顯微鏡公司是目前世界上發展最快的原子力顯微鏡(AFM)製造商之一，為化學、材料、物理、生命科學、半導體和數據存儲行業的研究人員和工程師提供了一系列完整的產品。 Park的客戶包括20多家全球最大的半導體公司，以及亞洲、歐洲和美洲的國立研究型大學。Park 原子力顯微鏡是韓國證券交易所(KOSDAQ)的上市公司，公司總部位於韓國水原，地區總部位於美國加州聖克拉拉、德國曼海姆、中國北京、日本東京、新加坡和墨西哥墨西哥城。