山西直線絲杆步進電機廠家例如:可光刻的晶片大面積為10×10平方毫米,實際有效解析度為微米,工作檯行程160×160毫米,可加工46英寸的晶片該光刻機研製成功後,同時投產了3臺其中,一臺留在清華微細工程研究所進行實驗研究;另外兩臺,則分別提供給中國科學院109廠和北京半導體器件廠,進行試用考核中國科學院的王守武先生,用這臺光刻機進行了多種大規模集成電路的研製,成品率與傳統工藝相比,平均提高了27%王守武先生對徐端頤發明的在光刻掩模上增加保護膜的新方法非常讚賞,還介紹了一家美國公司來與徐端頤團隊合作生產此項成果上報到電子工業部後,有關領導非常重視,親自到清華大學和中科院試驗現場考察1991年1月,電子工業部和國家教育委員會召集國內有關權威專家,在清華大學組織了一次規模很大的鑑定會和技術交流會,對清華大學徐端頤等研製的第三代「自動對準分步投影光刻機」進行鑑定
鑑定會由電子工業部領導主持,由中國物理學界泰鬥王守武先生任評審專家組組長徐端頤在會上介紹了清華光刻機的研發情況這一次的鑑定會規模很大,非常隆重除電子工業部專用設備司司長陸錦榮等領導外,科技部、國家教委的領導也紛紛出席清華主管科研的常務副校長倪維鬥負責接待此外,還有一批來自全國各地的半導體加工專用設備生產廠的代表參加王守武先生仍然保持著自己一貫的獨特作風,講話簡明扼要,只講了三句話:「這臺光刻機還不錯希望大家認真提修改意見使用單位應該積極參與設備研製」能得到王守武先生如此肯定,已經非常難得了在鑑定會召開之前,王先生給了徐端頤一個專家組名單,讓清華正式邀請這些專家組成鑑定小組此外,他還指定了一批有關設備設計製造、半導體器件生產單位的工程技術人員,和電子工業部的領導一起,對這臺光刻機進行現場,並將數據資料交給鑑定委員會專家組審查
後,王守武先生根據這些數據資料和專家組的意見,起草了鑑定意見,並親自在會上宣讀了鑑定結果徐端頤搞電子工業專用設備多年,參加過各種產品鑑定會,但都沒有經歷過這樣嚴格認真的鑑定程序這次鑑定會具有裡程碑似的重要意義清華大學由此成為中國的能自主研發生產國際一流水平的高端光刻機的單位通過的正式鑑定後,徐端頤團隊研製的第三代「自動對準分步投影光刻機」和該機使用的鏡頭,雙雙榮獲「國家科技成果獎」1991年3月,電子工業部決定將該機在國家計委主辦的「首屆全國工業企業技術進步成就展覽會」上展出於是,清華大學研製的這臺「自動對準分步投影光刻機」被安置在北京展覽館主展廳,向中外觀眾、國內外專家及媒體記者展出《人民日報》(海外版)、《北京日報》、北京電視臺等媒體報導了這一消息後,引起了各國科學界的重視
這天,徐端頤接到北京展覽館來電說,他們要接待一個重要的外國代表團來參觀,要求徐端頤親自接待徐端頤按時來到北京展覽館主展廳後,王守武先生陪同一個外國代表團來到清華大學的展位,參觀清華研製的自動投影光刻機,隨同的還有許多中外記者徐端頤不知道這些人是什麼來頭,沒敢多問,很有禮貌地接待他們參觀光刻機,對方問什麼就答什麼此時的中國科學界完全沒有「智慧財產權」這個概念,不知道保密,無論人家問什麼,都會和盤託出1991年3月,清華大學研製的第三代「自動對準分步投影光刻機」在北京展覽館參加「首屆全國工業企業技術進步成就展覽會」圖為徐端頤(中)向與會專家介紹中國光刻機的研發情況這些外國專家圍著這臺光刻機轉來轉去,看得非常仔細,提的問題非常專業;有的專家甚至還爬在地上,轉到後面,仔細看光刻機的內部結構
徐端頤這時才知道,這個代表團的成員,都是來自美國和日本的光刻機專家當美、日專家親眼看到中國在國外封鎖、禁運的情況下,獨立自主研發出了具有國際一流水平的光刻機,擁有完全的智慧財產權,驚詫不已,連說:「不可思議!」(inconceivable)美、日專家離開後不久,其他國家的光刻機專家也接踵而至,來了一撥又一撥當時國外生產光刻機的著名公司和廠家幾乎都派人來到北京,參觀考察清華大學自主研發的光刻機他們都看得非常仔細,提問也十分在行徐端頤友好地接待了這些外國專家,現場回答了他們提出的各種問題這些專家對中國獨立自主研發出光刻機心悅誠服,還熱情地邀請徐端頤去他們那裡訪問交流遺憾的是,來訪者中唯獨沒有後來成為世界光刻機行業巨擘的荷蘭艾司摩爾公司(AL)的代表,此時,這家公司還沒有誕生
北京展覽會結束,這些外國專家離開中國回國後不久,國際「巴黎統籌委員會」便宣布:取消對華出口投影光刻機的禁運令美國和日本這兩個當時世界上主要生產「分步投影光刻機」的國家同時宣布,取消對中國的出口禁令,可以向中國出口這類投影光刻機,而且價格比較優惠同時,還祭出了一個頗具誘惑力的法寶——「凡購買本公司光刻機的中國企業,歡迎其領導人來本公司參觀訪問旅遊,來回的機票、酒店住宿和所有的旅行費用,全部由本公司承擔」此時,國門剛剛打開不久,外面的世界很精彩,對中國企業的領導人很有吸引力,都想找個機會出國去看一看,玩一玩,開開眼界於是,原先準備購買清華大學生產的投影光刻機的許多單位紛紛改變主意,來電話說不要了;連原來和清華大學有長期合作關係的中國科學院半導體所109廠及北京、上海、天津、無錫等地的其他大單位,都紛紛取消了訂單
清華大學研發製造的新型自動光刻機沒有了市場,也就失去了生存空間於是,徐端頤團隊耗費無數心血研製成功的自動光刻機——這一生產加工晶片的重要關鍵設備,就此夭折多年來的所有努力和無盡心血,全部付諸東流徐端頤,這位主持研製出中國臺光刻機的科學家,從此不能再造光刻機,其內心的悲痛可想而知無奈之下,他只好告別了光刻機研發領域,將目光轉向國際上方興未艾的光碟研究此後,清華大學徐端頤團隊在光碟研究領域取得了驕人的成就中國的光碟研發製造在國際上獨領風,產銷量和出口量均居世界,在國際上佔據了一席之地,令世人刮目相看徐端頤成為中國光碟研究領域的主要奠基人之一他擁有67項中國專利、2項美國專利,多次應邀擔任國際光學會議主席,榮獲中國科技高獎「國家發明獎」,被任命為國家重點基礎研究項目首席科學家
清華大學停產光刻機後,形勢急轉直下國外生產的光刻機長驅直入,迅速搶佔了中國市場既然中國已經「揮刀自宮」,自己放棄了光刻機的研發製造,外國的光刻機生產公司沒有了競爭對手,光刻機的價格便一路水漲船高,節節攀升多年以後,自動光刻機奇貨可居,價格漲到了數億美金一臺,比大飛機還貴貴還不說,發達國家還禁止對中國出售光刻機,只賣晶片給中國一些國家在晶片產品的供應問題上,卡住了中國的脖子,中國的半導體企業也只能在絕望中苦苦掙扎正如徐端頤所預言:「未來的光刻機,可能有重大的技術革新與發展」中國的光刻機研發製造停下來後,國外的光刻機研製卻一直在不斷發展,攀登新高峰現在,發達國家研製的高端光刻機,其生產製造的晶片已達到納米級
P:功率、M:扭矩、β:角速度轉速。PGL帶推力軸承行星減速機(194條)PWD帶底腳行星減速機選擇正確的方肩面銑刀使用方刀片銑刀的主要限制是無法進行軸向切削,特別是對於型腔加工來說尤為如此。這時的精鏜刀片切削刃必然在半精鏜直徑之內,形成「讓刀」。控制步進電機的速度,即,在向步進電機施加控制脈衝後旋轉一步,在施加脈衝後旋轉一步,兩個脈衝之間的間隔越短,步進電機旋轉越快。 當然,柔性線路技術在滿足消費者需求而要求小型輕量的便攜裝置(手機等)中具有大的市場潛力,而且,柔性技術的新應用有平板顯示器和裝置,設計者可以減少產品(助聽器和人體植入裝置等)的體積和重量。由於這些各領域的大幅增長,柔性配線板的生產量也在世界範圍內增加。如金屬物體對電磁信號有衰減作用,金屬表面對信號有反射作用,彈性基層會造成標籤及天線變形,物體尺寸對天線大小有一定限制等。咱們以往使用的電力技能是按傳統發動電路工作