我國大型高精度衍射光柵刻劃系統項目實施

2021-01-15 科學網
我國大型高精度衍射光柵刻劃系統項目實施 支持經費超過1億元

 

日前,由國家光柵製造與應用工程技術研究中心申請的國家重大科研裝備研製項目「大型高精度衍射光柵刻劃系統」獲得財政部批准,支持經費超過1億元。

 

據了解,光柵製造技術是一種超精密加工技術,光柵刻劃機被稱為「精密機械之王」。要達到大刻劃面積和高刻劃精度標準,必須要有一流的精密機械加工、精密光學加工、精密自動控制和恆溫隔震技術作為前提。由於我國機械製造領域技術能力與國外存在較大差距,我國至今沒有高精度大尺寸光柵的製造能力,難以滿足光譜儀器行業、大科學工程和軍事應用的特殊需求。

 

該項目將在我國長期技術積累、關鍵技術獲得突破的基礎上,依託中科院長春光機所,聯合國內相關技術力量,研製具有自主智慧財產權的大型高精度衍射光柵刻劃系統。該系統將利用首創的三層臺結構、承重兼導向的一體式石英刀架導軌、支撐絲槓的主副螺母結構和金剛石刀具的中途連續切換技術,實現連續運行與間歇刻劃相結合的獨特工作方式,保證高精度大尺寸光柵的刻劃。

 

通過該項目的實施,我國有望建成總體實力和影響力與法國Jobin-Yvon公司、美國Newport公司相當的光柵研究和生產基地,從而滿足我國戰略高技術以及高水平科學儀器發展需求,打破美國等發達國家對高精度大尺寸光柵的壟斷。

 

《科學時報》 (2009-2-23 A1 要聞)

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