長春光機所承擔的國家重大專項——「高端全息光柵研發」項目順利...

2019年12月6日，科技部科技評估中心在北京組織召開國家重大科學儀器設備開發專項「高端全息光柵研發」項目綜合驗收會，項目順利通過驗收。

驗收會上，專家組聽取了項目負責人、長春光機所齊向東研究員作的項目研製工作總結報告，觀看了項目視頻，開展了各參研單位研製設備遠程視頻連線和開發的高端光柵器件和光譜儀器的現場檢查，並進行了質詢討論。會議專家一致同意該項目通過綜合驗收。

圖1　綜合驗收會與會代表合影

圖片來源：長春光機所

光柵是一種具有納米精密周期性微結構的精密光學元件，光柵除在各類光譜儀器中擔當「晶片」角色外，還在天文學、雷射器、光通訊、信息存儲、新能源等諸多領域具有重要應用。高端全息光柵是指具有高光譜解析度、高衍射效率、高刻線密度、低雜散光強度或特殊面形以及體全息光柵等一些特種光柵類型的全息光柵，代表了光柵製造技術的前沿水平。

在「高端全息光柵研發」項目立項之初，國外科研機構和公司基本壟斷高端全息光柵市場。隨著我國光譜儀器行業打造高端光譜儀器產品、拓展國際市場需求的日益強烈，長春光機所依託該專項支持，開展了以高刻線密度光柵、大口徑高衍射效率光柵為代表的高端全息全息光柵的研發工作，旨在全面提升我國全息－離子束刻蝕光柵的研製水平，開發出具有重要戰略意義及代表性且需求迫切的高端全息光柵，替代進口的同時滿足我國光譜分析儀器自主創新對新型全息光柵的需求；實現以關鍵部件開發為先導、輻射帶動光譜分析儀器行業技術進步，實現以高端全息光柵自主創新帶動光譜分析儀器自主創新的目標，完善光譜分析儀器產業鏈，增強儀器產業核心競爭力。

項目組在研發周期內建立並完善了高端全息光柵製造及檢測裝備，全面提高了高端全息光柵的工藝技術，研製出國際先進的11種高端全息光柵，同時，聯合國內優勢企業應用新光柵開發出6種新型光譜儀器。

一是研製出大口徑勻膠機、大口徑曝光系統、曲面光柵離子束刻蝕機、大口徑反應離子刻蝕機、衍射波前測試儀、衍射光柵雜散光測試儀，形成了集光柵設計、製造及檢驗於一體的開發平臺。

圖片來源：長春光機所

二是研製出11種高端全息光柵母版，解決了高端全息光柵製造工藝技術及裝備的共性基礎問題，全面提升了我國光柵製造能力。

圖片來源：長春光機所

三是在我國光譜分析儀器行業的六家領軍企業進行應用示範及產業化推廣，自主研發出低雜散光紫外可見光譜儀、新型火花直讀光譜儀、高速單道掃描電感耦合等離子體發射光譜儀、雙光束紫外–可見分光光度計、醫用成像光譜儀、極紫外–軟X射線雙光柵單色器等六種高端光碟分析儀器。

圖片來源：長春光機所

通過該項目持續支持，長春光機所研製出的高精度、高指標、大尺寸的高端全息光柵，不僅代表了中國的超微細加工技術達到了世界水平，更打破了中國民用光譜儀器行業及國家戰略高技術領域所需要的高精度光柵受制於人的局面，在促進中國光譜儀器行業擺脫「有器無心」的局面，幫助中國光譜儀器產業改變低端化現狀，提升拓展國際市場能力方面將發揮重要支撐作用。