長春光機所 1.5 米掃描幹涉場曝光系統順利通過驗收

2020-09-04 IT之家

IT之家9月4日消息 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所官方發布， 8 月 24-25 日，國家自然科學基金委員會信息學部在長春組織專家對國家自然科學基金國家重大科研儀器設備研製專項 「1.5 米掃描幹涉場曝光系統」進行了項目驗收。

專家組認為，項目組全面完成了項目的研製任務，成功研製出 1.5 米掃描幹涉場曝光系統，該儀器的各項工作性能均達到或超過了任務書指標；項目管理文件和技術文檔記錄全面，內容真實可靠，檔案立卷符合規範要求；項目資金使用符合管理辦法要求；項目執行期間，圍繞單體大尺寸全息光柵製作的一系列核心物理和技術問題開展前沿探索和技術攻關，取得了系列重要研究成果、技術創新和突破。

IT之家了解到，專項研製的儀器設備包括一臺 1.5 米掃描幹涉場曝光系統及四臺製作全息光柵所需的輔助工藝設備。該項目主要面向高能拍瓦雷射輸出技術、雷射慣性約束核聚變研究及高端光刻機產業等戰略高科技領域對大面積全息光柵的迫切需求，研製了 1.5 米掃描幹涉場曝光系統，其目標是具備以步進掃描多線曝光方式製作 500mm×1500mm 全息光柵的能力。

經過 7 年的攻關，項目組通過解決和突破長程重載工作檯超精密定位、曝光幹涉場超精密測量及相位鎖定等十幾項基礎問題和關鍵技術，研製出了擁有製作最大面積 650mm×1700mm 單體無拼縫全息光柵能力的掃描幹涉場曝光系統。該項目的順利實施與驗收，標誌著我國具備了獨立製作米級單體無拼縫全息光柵的能力，打破了由國外長期壟斷的局面，對高能雷射、可控核聚變、高端光刻等領域的技術與產業推進具有重大的戰略意義。

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