光學3D表面輪廓儀基於白光幹涉原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關鍵參數和尺寸，典型結果包括：
表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，臺階高度，錐角等等）幾何特徵（關鍵孔徑尺寸，曲率半徑，特徵區域的面積和體積，特徵圖形的位置和數量等等） 光學3D表面輪廓儀的光學系統基於無限遠顯微鏡系統。通過幹涉物鏡產生幹涉條紋，使基本的光學顯微鏡系統變為光學3D表面輪廓儀。
除了負責產生幹涉條紋，各類幹涉物鏡還決定了系統很多關鍵性能，如光學解析度，工作距離，齊焦距離，坡度能力，視場範圍等等。
中圖儀器提供豐富的各類物鏡選擇，以滿足最挑戰的測試需求，除了標配的10X幹涉物鏡，還有2.5×、5×、20×、50×、100×可選。