Newview™ 9000
1.6K*1.2K,0.5X,1X, 2X 目鏡;
CSI, SureScan™, SmartPSI 採樣;
可選手動調整,或5軸(Z,XY平移,Tip/Tilt 傾斜俯仰)自動調整樣品臺;
手動孔徑光闌,及視場光闌;
Newview 表面形貌重複性(STR) 0.08nm
Newview™ 9000 是ZYGO應用最廣的高性能光學輪廓儀,配合豐富的配置及附件,滿足多樣化應用需求。
Newview™ 9000 150um範圍使用壓電陶瓷閉環掃描,表面形貌重複性(STR) 0.08nm,可以滿足苛刻的超光滑表面測試需要。
Newview™ 9000 光學系統包括孔徑光闌,及視場光闌;可優化光學成像質量,適用於不同樣品表面紋理和微結構。
Newview™ 9000 採用分立龍門架構,可以通過標準墊塊附件,抬高測試頭,來測試超大超高樣品。
Newview™ 9000 可選5維全自動樣品臺,配合ZYGO腳本編程工具,自主開發工業自動化測試流程。