儀器信息網訊 2011年3月7日至14日,北京七星華創電子股份有限公司的CS300系列氣體質量流量控制器亮相國家「十一五」重大科技成就展。
CS300系列氣體質量流量控制器
CS300系列產品是北京七星華創電子股份有限公司為大規模集成電路設備專門設計的新一代產品。
該產品採用先進的金屬表面處理技術,與氣體接觸的金屬表面符合大規模集成電路設備的嚴格要求。產品採用了基於DF的壓力不敏感信號處理算法、恆功率傳感器技術、數字溫度補償系統、VCP的閥控制技術等先進的技術,可以有效地抵抗前端氣體壓力擾動,環境溫度擾動,產品精度高,響應時間快,控制穩定。
關於北京七星華創電子股份有限公司:
北京七星華創電子股份有限公司傳承四十多年電子專用設備及電子元器件的生產製造經驗,於2001年9月成立,是一家以微電子技術為核心,以電子專用設備與新型電子元器件為主營業務,集研發、生產、銷售及服務於一體的大型綜合性高科技公司。2006年,公司開始與美國頂尖流量計技術團隊合作開發新品,獲得成功,CS200數字式產品已經應用於真空、半導體領域。2010年推出了代表國際先進水平的CS300壓力不敏感質量流量控制器,該產品僅國外高端的質量流量計生產廠家才能生產。
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