60年代末70年代初以來,X射線螢光光譜儀大致分為使用晶體分光的色散型和不使用晶體分光的非色散型兩類。使用半導體探測器的X射線螢光光譜儀當初被劃為非色散型光譜儀的一種,但由於近年來半導體探測器性能(特別是能量解析度)提高,使用技術發展,現已被確定為一個能量色散的新分支。與此同時,分類方法也就變成了如下形式:
①波長色散型,一般說的X射線螢光光譜儀都是指使用晶體分光的波長色散型光譜儀。這類儀器又可分為兩種,一種是對各元素逐一進行角度掃描順序進行測定的所謂掃描式光譜儀;另一種是每個元素都單獨配備一個固定的測角器同時分析多個元素的所謂多元素同時分析式X螢光光譜儀,還有一種是前兩種組合在一起,既有順序掃描儀又有各種元素的固定分析器。掃描式儀器的示意圖見圖2-1。
多元素同時分析式儀器特別適用於作爐前的快速分析(圖2-2)