化合物半導體薄膜材料對於半導體材料而言，是其重要的應用材料。眾所周知，我國半導體行業技術一直受制於國外技術的封鎖。而化合物半導體薄膜材料是超級計算機、紅外探測儀、半導體雷射器、太陽能電池、LED燈等等眾多先進的電極級產品的器件製造原產品。所以，化合物半導體薄膜材料在半導體工業的地位，可見一斑。而三甲基鎵正是製造化合物半導體薄膜材料最重要的的金屬有機化合物之一。
一、三甲基鎵檢測標準
三甲基鎵在其工藝研發、上市銷售、生產許可證審批、採購貿易等環節，都需要通過檢測來評價其純度或金屬元素含量等關鍵性指標。國家對於用於電子級三甲基鎵質量都有明確的標準規定，其標準號為GB/T 37007-2018《電子級三甲基鎵》。該標準為國家推薦標準，適用於鎵鎂合金法、三氯化鎵法、格式試劑法等化學工藝製造的三甲基鎵。企業想要檢測電子級三甲基鎵，就可以委託第三檢測機構根據GB/T 37007-2018中規定的檢測項目來評價試驗。
二、三甲基鎵檢測項目
評價三甲基鎵質量最重要的檢測指標就是純度，在GB/T 37007-2018中三甲基鎵的純度質量分數的規定都精確到小數點後五位，具體指標為≥99.99995%。此外三甲基鎵還需要檢測28項金屬元素及其他元素的含量。這28項金屬元素檢測項目主要為銀、鋁、砷、硼、鋇、鈹、鉍、鈣、鎘、鈷、鉻、銅、鐵、鍺、汞、鎂、錳、鎳、鉛、硫、銻、矽、錫、鍶、鈦、釩、鋅、氧和有機雜質。
三、三甲基鎵檢測方法
三甲基鎵純度檢測方法，其實通過排除法來計算取得的。也就是通過排除矽元素、銅元素、鎂元素、鋅元素、鐵元素等的質量分數來獲得最終純度。三甲基鎵檢測金屬元素的方法主要為電感耦合等離子體原子發射光譜法來測定。而其氧和有機雜質一項，則可以使用低溫超導傅立葉變換核磁共振來進行測定。
以上就是三甲基鎵檢測的相關知識。半導體技術一直掣肘我國高科技發展的重要因素。三甲基鎵質量檢測的關鍵之處就是純度的測定。提純也是工藝提升的重要研究方向。檢測可以幫助我們更好地了解金屬元素比例，然後依此不斷通過篩選、配合、解配、減壓、蒸餾等等的一系列加工流程來優化提取三甲基鎵的純度。
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