日本批准向三星出口氟化氫:用於清洗和蝕刻晶圓

2020-11-22 騰訊網

7月1日，日本政府宣布將韓國移除對外貿易白名單，韓國進口日本公司的三種原材料——光刻膠、氟化聚醯亞胺和氟化氫需要提前90天申請，這些材料是生產柔性屏面板、半導體晶片的重要原料，而這兩個行業又是韓國的經濟支柱。

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隨後在8月8日，日本批准了向韓國出口EUV光刻膠，這種材料用於晶片生產，幫助廠商在矽晶上繪製晶片，該材料對於三星而言至關重要。

現在，第二種關鍵材料的貿易許可也來了。8月30日，據外媒報導，日本已批准向三星出口氟化氫，氟化氫是蝕刻和清洗晶圓的關鍵材料，三星能在明年年初用到這種材料。

高純度的電子級氟化氫是氟精細化學品的一種，在半導體製造工藝中主要用於去除膜沉積後粘附在化學氣相沉積爐內的不必要化學物質、等離子刻蝕、光刻膠圖案化之後的蝕刻細槽或孔等流程。

據報導韓國以及中國的半導體廠商一直都從日本進口即買即用的氟化氫。日本的氟化氫真的就比中國產的好麼？有業內人士評論，全世界製造佛化氫的工廠都是99.99%純度，用於蝕刻是夠用的，日本產的氟化氫純度更高，能在小數點後面多幾個9。另外由於日本目前是氟化氫最大供應國，產能高，價格便宜，而能用到氟化氫的半導體製造企業數量並不多，所以習慣上都是用日本的。

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