日本禁止向韓國出口的高純氟化氫,真的只有日本才能生產出來嗎?

2020-12-03 老郭的封面

2019年7月1日,日本宣布對韓國三類原材料進行出口管制,這三類原材料是用於半導體製造的化工品,分別是氟聚醯亞胺、光刻膠和高純度氟化氫

這三種化工品,韓國都對日本依存賴度較高,氟聚醯胺甚至達到了93.7%,而用於半導體製造的高純度氟化氫幾乎100%由日本進口。禁令一出,韓國電子業就受到巨大的震動。分析人士指出,日本這一貿易措施將嚴重影響韓國、乃至全球半導體供應鏈產能,導致內存、快閃記憶體、OLED屏幕等產品面臨漲價風險。

由人及己,國內有人擔心我們是否也受到日本「卡脖子」。

網上有人從氟化氫生產過程分析,要生產出電子級氟化氫有多難,大都認為生產過程對工藝過程、生產環境、生產設備要求有多高,似乎只有日本才能生產出來。

然而,實情讓人大跌眼鏡!

在韓國遭到禁運的時候,中國相關生產廠家立即聞風而動,並且SK海力士等工廠很快就完成了取代日本產品的測試。

在半導體製造過程中,主要有兩種蝕刻技術:乾式蝕刻和溼式蝕刻

乾式蝕刻:通常稱為反應離子刻蝕或RIE,使用通常含有滷素原子的等離子體活化的刻蝕氣體,選擇性地去除一部分材料。優點在於精度高,安全。缺點是產能低,成本高。溼式蝕刻:使用酸或鹼的水溶液來快速除去大量材料或完全去除特定材料。優點是便宜,產能高。缺點則是精度低,危險性高,蝕刻用化學品不宜長期儲存。

高純度氟化氫在半導體製造過程中主要用於溼式蝕刻,而在整個蝕刻行業中,不同的加工對象,採用的蝕刻氣體又有多種。

因此,總的來說,半導體行業對氟化氫的需求不算太大,業內人士評論,用於半導體蝕刻的氟化氫純度99.99%已經夠用了。更要命的是,2013年、2014年中國在這方面的產能利用率還不到50%,一直到2018年,我國環保要求提高,氟化氫產能利用率才提升到約61%

而日本能夠一直壟斷整個行業,是因為他們的純度更高、產能高、價格便宜。說白了,就是他們的產品性價比更高。

當然,在我國一方面要抑制過高的產能,淘汰規模較小、工藝技術落後、汙染嚴重的產線,還必須提高產品純度,降低成本,提升產品的競爭力。

在這個行業,真不是防「卡脖子」,而是要想方設法去人家碗裡搶吃的。

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