國家重大專項「300mm矽單晶直拉生長裝備的開發」通過驗收

2020-11-28 索比光伏網

索比光伏網訊:

2015年6月16日至17日，浙江晶盛機電股份有限公司承擔的，有浙江大學，杭州慧翔電液技術開發有限公司參加的國家科技重大專項「極大規模集成電路製造裝備及成套工藝」（以下簡稱02專項）「矽材料設備應用工程」項目（2009ZX02011 ）中的「300mm矽單晶直拉生長設備的開發」課題（2009ZX02011-001A）在北京有研新材料股份有限公司，由國家02重大專項實施辦公室和總體組組織召開的項目驗收會上，以優秀的成績通過了國家02專項驗收專家組專家的正式驗收。這是值得課題組成員與晶盛機電全體員工慶賀的大喜事！

自2009年1月該課題立項以來，經過課題組成員近四年的共同努力，成功研製出可安裝28」和32」熱場、滿足300mm直拉矽單晶90-65nm特徵線寬、高性能要求的新型全自動矽單晶生長爐商業樣機。圓滿地完成了課題合同書規定的各項技術、經濟、智慧財產權、人才培養以及平臺建設等指標，已達到課題任務書的考核要求。

該設備可實現集成電路級單晶矽生長的12道工藝全自動控制。課題涵蓋了四大關鍵技術：1）實現了功率控制直徑技術，以減少矽單晶COP缺陷；2）新型CCD圖像處理系統檢測與精確控制液面位置技術；3）油冷卻新型磁場系統與控制熔體流動工藝技術；4）提高軸向溫度梯度、高拉速、節能型的水冷夾套技術。2012年以來，課題產品已實現了海內外銷售應用，浙江晶盛機電股份有限公司的高端電子級單晶爐產品技術得到了廣大客戶的充分好評與信賴。課題取得了良好的社會、經濟效益，產業化前景優勢明顯。

國家02重大專項實施辦公室和總體組，分別組織任務驗收專家及財務驗收專家，在對課題進行了嚴格的驗收工作的基礎上，對課題完成情況作出了總體評價：「課題組完成了任務合同書規定的研發內容。研製出滿足90--65nm特徵線寬集成電路用300mm直徑矽材料的全自動矽單晶生長爐。各項技術指標、產業化指標、智慧財產權指標、人才隊伍建設指標及平臺建設指標均達到任務合同書的考核要求。提供的驗收資料齊全。驗收專家組專家一致同意課題通過驗收。」

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