重大突破！國內首臺硬軸直拉爐成功生長出8英寸矽單晶

2020-08-30 光伏人

　　8月23日，浙江晶盛機電股份有限公司晶體實驗室傳來好消息，由公司研製開發的國內首臺硬軸直拉爐成功生長出首顆8英寸矽單晶。這是我國在半導體級矽單晶生長裝備領域實現的又一項重大突破，也進一步鞏固了晶盛機電在晶體生長裝備技術中的核心競爭力。

　　據了解，相比傳統軟軸直拉爐，晶盛機電開發的硬軸技術，克服了過去晶體在高晶轉下生長易晃動的缺點，可有效改善晶體的徑向均勻性。同時，研發團隊還解決了其中的軸動密封、抗震動、軸水冷、氣流場等諸多技術難題，從而為單晶體材料總體質量的提高夯實了裝備基礎。

　　國內集成電路產業技術的發展，對單晶材料的內在品質提出了更高要求。以矽單晶的下遊產品，矽晶圓為例，其作為微電子產業最重要的原材料，長期以來嚴重依賴進口，貿易逆差持續擴大。而此次晶盛機電硬軸直拉爐的成功研製，則為國內大矽片行業提供了有力的裝備保障。預計到2021年，公司還將繼續推出12英寸硬軸直拉矽單晶爐，為國產大尺寸矽片產業騰飛助力。

　　這也是晶盛機電長期專注於半導體矽單晶生長裝備研發的結果和必然方向。以半導體裝備國產化為使命，公司從2007年率先推出國內首臺全自動矽單晶爐開始，已接連研製出TDR85、TDR95、TDR110、TDR130等多款滿足直徑6-12英寸矽單晶生長裝備。與此同時，又相繼開發出定拉速控徑、液位控制、定放肩、超導磁場拉晶等多項先進技術。其間，公司還先後主持兩項國家科技重大02專項課題（「300mm矽單晶直拉生長裝備的開發」和「8英寸區熔矽單晶爐國產設備研製」），是目前國內半導體生長裝備領域產品種類齊全、技術領先的矽單晶爐製造企業。

來源：我們都是科技宅

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