國內首臺商用12英寸全自動晶圓探針臺問世

2020-11-25 科技日報

科技日報記者 陸成寬

22日，記者從中國科學院長春光學精密機械與物理研究所獲悉，該所旗下長春光華微電子設備工程中心有限公司（以下簡稱「光華微電子」）成功研製出國內首臺商用12英寸全自動晶圓探針臺。

晶圓探針臺是半導體行業重要的檢測裝備之一，用於晶圓加工之後、封裝工藝之前的晶圓測試環節，負責晶圓的輸送與定位，使晶圓上的晶粒依次與探針接觸並逐個測試。在這個過程中，晶圓探針臺可以將參數特性不符合要求的晶片記錄下來，在進入後序工序前予以剔除，從而大幅度降低器件的製造成本。

晶圓探針檢測過程技術難度極大。「檢測過程要求，在0.3秒內，晶圓探針臺的幾千到幾十萬根探針分別精準地對應到一個個大小約為頭髮絲橫截面四分之一的Pad盤上。」光華微電子董事長田興志說。

由於探針臺技術門檻較高，目前市場處於雙強壟斷態勢，東京電子(TEL)和東京精密(TSK)兩家日本公司佔據了絕大部分市場份額。光華微電子於2015年正式立項開展12英寸全自動探針臺產品研發，2019年起，先後在功率半導體器件、光電探測器、邏輯半導體器件的知名企業進行了樣機測試。「測試結果表明，產品已經能夠滿足產線生產要求，已經具備替代國外進口設備用於晶圓探針檢測的能力。」田興志說。

他表示，光華微電子研製的APT121A型探針臺，作為國內第一款商業化的12英寸全自動晶圓測試探針臺，其性能指標已經達到或者接近國際水平。國產APT121A型探針臺能夠有效降低晶圓測試廠的採購及維護成本。隨著市場推廣和設備性能的不斷改進和提升，必將對推動我國的半導體產業發展產生積極作用。

編輯：陳可軒

審核：管晶晶

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