矽片是集成電路產業的基礎,是晶圓製造的核心材料。中國大陸8寸、12寸矽片自主供應能力弱,高度依賴進口,是集成電路產業鏈中的短板。國內規模最大、技術最成熟,擁有自主核心技術,並真正可量產半導體大矽片的生產廠——杭州中欣晶圓半導體股份有限公司,大矽片項目21日在杭州錢塘新區竣工投產,實現了8英寸大矽片的正式量產,同時12英寸大矽片生產線進入調試、試生產階段。
報導稱,預計這一項目明年將實現月產35萬枚8英寸半導體大矽片。此外,未來幾個月內,項目將完成12英寸生產線的設備安裝調試、工藝調試、品質認定等流程,在今年年底生產出高品質的12英寸半導體大矽片。明年,12英寸半導體矽片生產線投產後,月產能將達3萬片,將大大緩解我國半導體大矽片供應不足的局面。
中芯晶圓大尺寸矽片項目的實施主體為杭州中芯晶圓半導體股份有限公司,由日本株式會社Ferrotec Holdings、杭州大和熱磁電子有限公司、上海申和熱磁電子有限公司合資建立,後兩者均為Ferrotec集團成員。
根據原規劃,中芯晶圓大尺寸矽片項目建設3條8英寸(200mm)、2條12英寸(300mm)半導體矽片生產線。項目全部達產後,預計將達到8英寸年產540萬片、12英寸年產288萬片半導體矽片的生產能力,預計年收入50億元人民幣。
據了解,國內大尺寸矽片尤其是12英寸半導體大矽片的供應長期被國外企業所掌控,市場高度壟斷。
這一項目的建成投產,將改變國內半導體大矽片完全依賴國外的現狀,有效填補國內半導體大矽片供應的行業短板,有助於推動我國集成電路產業發展。
目前國內正在積極進行或規劃的其他8英寸/12英寸矽片項目還包括鄭州合晶、浙江金瑞泓、上海超矽、奕斯偉、上海新昇、寧夏銀和、中環領先、安徽易芯等。
(文章來源:EEFOCUS)