新華社上海５月２１日電（記者高少華）上海華力集成電路製造有限公司建設和營運的１２英寸集成電路生產線項目２１日實現首臺工藝設備——光刻機搬入，這也是目前中國大陸集成電路生產線上最先進的浸沒式光刻機。
華力１２英寸先進生產線建設項目總投資３８７億元人民幣，被列為國家《「十三五」集成電路產業重大生產力布局規劃》，也是「十三五」期間上海市重大產業項目和上海市重大工程。
華力１２英寸先進生產線建設項目主要從事邏輯晶片生產，重點服務國內設計企業先進晶片的製造需求。
根據規劃，該項目將建成月產能４萬片的１２英寸集成電路晶片生產線，工藝覆蓋２８－１４納米技術節點。項目計劃於２０２２年底達到產能目標。
項目建成後，上海華力集成電路製造有限公司母公司——上海華虹集團的集成電路製造能力將覆蓋０．５微米－１４納米各工藝技術平臺。（完）