國產化率僅12%!一文看懂半導體關鍵原料電子特氣

2021-01-08 手機鳳凰網

近年來,隨著國家的對於集成電路產業的重視以及資本的支持,國內的集成電路產業發展迅速,但是與國外仍有不小的差距。特別是在上遊的半導體材料等領域,更是差距巨大。不過,隨著國內半導體製造的崛起,也推動了半導體材料的國產化進程。

從近幾年大陸半導體材料、設備的需求佔比來看,大陸半導體材料市場規模佔全球的比重由 2013 年的約 4%提升到 2018 年的約 16%,大陸半導體設備市場規模佔全球比重由 2016 年的約 16%提升到 2018 年的約 20%。而可預見的未來,國內半導體產能的增加將進一步帶動本地半導體材料需求。

雖然目前各大主要品類的半導體材料領域均有國內企業涉足,但整體對外依存度仍在 60%以上,特別地,大尺寸半導體矽片、光刻膠、電子特氣等材料更為依賴進口,進口替代空間巨大。

不久前,芯智訊就通過《90%市場被國外廠商壟斷,光刻膠國產化急需提速!》一文,為大家介紹了中國在半導體製造所需的關鍵材料——光刻膠領域的現狀。今天,芯智訊再來為大家介紹另一種半導體製造所需的關鍵材料——電子特氣的國產化布局。

一、電子特氣:半導體工業的關鍵原料

電子特氣是電子工業的關鍵原料,屬於工業氣體的重要分支。工業氣體是現代工業的基礎原材料,而電子特氣是工業氣體中附加值較高的品種,與傳統工業氣體的區別在於純度更高(如高純氣體)或者具有特殊用途(如參與化學反應),是極大規模集成電路、平面顯示器件、化合物半導體器件、太陽能電池、光纖等電子工業生產中不可或缺的基礎和支撐性材料之一,相關下遊領域的快速發展將帶動未來特種氣體的增量需求。

半導體特氣應用於晶圓製造的各個環節。狹義的「電子氣體」特指電子半導體行業用的特種氣體,主要應用於前端晶圓製造中的化學氣相沉積、光刻、刻蝕、摻雜等諸多環節。電子特種氣體的純度和潔淨度直接影響到光電子、微電子元器件的質量、集成度、特定技術指標和成品率,並從根本上制約著電路和器件的精確性和準確性,對於半導體集成電路晶片的質量和性能具有重要意義。

1、行業兼具技術、客戶認證等壁壘

半導體電子特氣行業具有較高的技術壁壘。半導體電子特種氣體在生產過程中涉及合成、純化、混合氣配製、充裝、分析檢測、氣瓶處理等多項工藝技術,每一步均有嚴格的技術參數要求和質量控制措施。

為了保證半導體器件的質量與成品率,特種氣體產品要同時滿足「超純」和「超淨」的要求,「超純」要求氣體純度達到 4.5N、5N 甚至 6N、7N(N 是 Nine 的簡寫,幾個 N 就代表有幾個 9,例如 3N 的純度為 99.9%),「超淨」即要求嚴格控制粒子與金屬雜質的含量。作為特種氣體的核心參數,純度每提升一個 N,粒子、金屬雜質含量濃度每降低一個數量級,都將帶來工藝複雜度和難度的顯著提升。

對於混合氣而言,配比的精度是核心參數,隨著產品組分的增加、配製精度的上升,客戶常要求氣體供應商能夠對多種 ppm(part per million,百萬分之)乃至 ppb(part perbillion,十億分之)級濃度的氣體組分進行精細操作,其配製過程的難度與複雜程度也顯著增大。此外,氣瓶處理、氣體分析檢測、氣體配送等環節亦對生產企業提出了較高的技術要求。

下遊客戶認證亦是攻堅難點。作為關鍵性材料,特種氣體的產品質量對下遊產業的正常生產影響巨大。如果晶圓加工環節所使用的氣體發生質量問題,將導致整條生產線產品報廢,造成巨額損失。因此極大規模集成電路、新型顯示面板等精密化程度非常高的下遊產業客戶對氣體供應商的選擇極為嚴格、審慎,需要經過審廠、產品認證 2 輪嚴格的審核認證,集成電路領域的審核認證周期長達 2-3 年。

另一方面,為了保持氣體供應穩定,客戶在與氣體供應商建立合作關係後不會輕易更換氣體供應商,且雙方會建立反饋機制以滿足客戶的個性化需求,客戶粘性不斷強化。因此,對新進入者而言,長認證周期與強客戶粘性形成了較高的客戶壁壘。

行業還具有營銷網絡、服務壁壘。營銷網絡主要體現在氣體公司需要投入大量人力物力進行鋪點建設,不斷擴大營銷服務網絡,以滿足下遊客戶對氣體種類、響應速度、服務質量的高要求。氣體下遊客戶需要的服務則包括包裝容器處理、檢測、維修及供氣系統的設計、安裝乃至氣體供應商的配送服務等。

二、市場潛力大,電子特氣需求迅速增長

1、半導體行業支撐電子特氣需求

電子特氣在半導體製造材料中佔比僅次於矽片。半導體材料包括晶圓製造材料和封裝材料。其中晶圓製造材料包括矽片、光掩模、光刻膠、光刻膠輔助材料、工藝化學品、電子特氣、靶材、CMP 拋光材料及其他材料。2018 年全球半導體晶圓材料市場規模為322.0 億美元,同比增長 15.8%,全球半導體封裝測試材料市場規模為 197.0 億美元,同比增長 3.1%。

根據 SEMI 的數據,2018 年電子氣體在晶圓製造材料市場中佔比達到12.9%,僅次於佔比 36.6%的矽片,市場規模巨大。

全球半導體市場規模龐大,晶圓廠數目不斷增加,電子特氣需求量不斷提升。全球範圍來看,隨著全球半導體市場規模在 2018 年的高增長,全球集成電路用電子氣體的市場規模達到 45.1 億美元(約合人民幣318.7億元),市場規模較上年同比增加了 15.9%,但從整體來看,2013-2018年的平均增速稍低,僅為 6.3%。

國內範圍來看,2018 年,我國電子氣體市場規模達到了 121.6 億元,較上年同比增加了 11.2%(2013-2018 年的增速達 13.3%)。在全球營收中的佔比已達38.15%。

根據 IC Insights 的統計,2018 年全球共有 112 家 12 英寸晶圓廠,至 2023 年這一數字有望增至 138 家。

根據 SEMI 數據,2019 年矽晶圓的出貨面積為 118.1 億平方英寸,營收達112億美元,均為較高水平。2013-2018年半導體市場規模的平均增長率達8.9%,2020 年半導體下遊需求可能會受疫情影響,但從中長期看,隨著 5G 技術、新能源汽車、雲伺服器等市場的增長,有望帶動行業進入新的增長期。作為半導體製造環節中佔比第二高的材料,電子特氣的需求也有望不斷提升。

2、複雜晶片製造刺激電子特氣需求

邏輯晶片和存儲晶片為集成電路主要增長動力。根據 WSTS 的數據,集成電路是半導體產業中最主要的市場,規模佔比維持在 80%以上。

集成電路可分為邏輯晶片、存儲晶片、微處理晶片和模擬晶片。2019 年邏輯晶片和存儲晶片銷售額分別為 1046.2 億美元和 1059.1 億美元,佔集成電路比例分別為 31.7%和 32.1%,為集成電路的主要增長動力。由於價格大幅波動等原因,2019 年邏輯晶片和存儲晶片的銷售額出現較大幅度下滑,但 WSTS 預測 2020 年有望繼續恢復增長。

隨著集成電路製造要求複雜度的提升,製造中所使用的電子特氣用量也將提升。根據德國普爾茨海姆應用技術大學工業生態研究所(INEC)的 Mario Schmidt 教授等人共同撰寫的論文《用於微電子晶片和太陽能電池矽片加工的生命周期評估》,矽晶圓的加工離不開大量化學試劑以及特殊氣體,這些氣體可以用於包括清洗、蝕刻、光刻、外延、摻雜等工序。

經測算,每平方米邏輯電路晶圓加工所需要的電子特氣約為 37.3kg,每平方米存儲電路晶圓加工需要約 12.0kg 的電子特氣。邏輯晶片和存儲晶片本身在集成電路中的佔比就超 6 成,隨著未來 5G 和汽車電子化的趨勢以及集成電路技術與製造工藝的提升,電子特氣的用量也會得到大幅度的提升。

三、進口替代大勢所趨,供給格局向國內集中

1、進口替代勢在必行,本土企業優勢顯現

①國外龍頭壟斷市場,進口替代空間廣闊

國外龍頭壟斷國內市場,進口替代空間廣闊。根據中國產業信息網的資料顯示,空氣化工、普萊克斯、林德集團、法液空、大陽日酸等海外企業合計佔據國內電子特氣約 88%的市場份額,市場高度集中(國內氣體公司份額僅有12%)。這些企業多為全球工業氣體龍頭,具有長期的技術積澱和客戶積累,實力強勁,電子特氣僅為其業務的一部分。目前國內尚缺體量與上述龍頭相匹敵的電子特氣公司,但通過分析國內發展環境的變化,特種氣體產品特徵,以及國外龍頭企業特質等方面,我們認為國內電子特氣企業逐步實現進口替代是大勢所趨。

②與其他半導體材料相比,電子特氣國產替代已先行一步

橫向對比下,電子特氣進口替代進度更快,國內企業正逐步突破。半導體材料各品類均有較高的技術及客戶壁壘,通過對比各半導體材料國內頭部公司的工藝水平,不難發現,部分電子特氣已能達到 14nm 或 7nm 製程節點,進口替代進程相對更快。

另外,由於特種氣體種類多樣,各類氣體之間製備難度參差不齊,國內企業可以藉助六氟化硫、四氟化碳等製備難度相對較小的刻蝕氣、清洗氣產品打入晶圓廠供應鏈,後續逐步配套摻雜氣、CVD 前驅體等高端產品,或直接收購海外高端產品公司,豐富產品線的同時增加客戶儲備。雖然我國電子氣體已經擺脫了完全依賴於進口的局面,但是面對國外龍頭公司壟斷較高壁壘的市場,國內電子特氣企業依然面臨著較大的競爭壓力。

③高運維成本造就本地化配套優勢

較高的運輸和現場維護成本造就本地化配套優勢。多品少量是電子特氣的特點,因此相比現場制氣的空分氣體,採用零售方式進行氣體銷售更為普遍,但零售氣體對於國外企業來講,需要付出更高的運輸和維護成本。

運輸成本方面,以林德集團為例,作為全球工業氣體龍頭,林德在國內的空分裝置點有11 個,相比較之下,特種氣體工廠僅 2 個。考慮到林德集團在國內的特種氣體工廠較少,因此大量的特種氣體需從海外運輸,而從歐洲、美國運至國內耗時約 30 天,運輸費用預計不低於國內的長途運輸,運輸成本將更高。隨著國內半導體晶圓廠從華東、華北向全國範圍擴散,未來本地特氣企業將具有顯著的運輸成本優勢。

維護成本方面,我們以具有近 50 年運營經驗的慧瞻材料的業務模式為例進行分析。2018年慧瞻材料的營收中,材料佔比約 65%,剩下 35%為設備安裝及現場維護。但從人員配置上看,材料業務在全球有 12 個工廠,分布在美國、韓國和中國臺灣(美國 7 家,韓國 4 家,中國臺灣 1 家),相應工作人員在 830 名左右;而設備安裝及現場維護業務的人員配置達 900 人,其中現場服務環節人員 400 人,營業利潤率低於材料業務。顯然,中國大陸企業相應的運輸服務及現場維護將更為快速,且成本更低。

2、業務模式與國內企業競爭格局

①海外成熟企業的業務模式

林德模式:從空分氣體設備供應商向氣體綜合解決方案提供商蛻變。從林德集團的半導體工廠配氣裝置可以發現,氣體服務是一項系統工程,包括超純大宗氣體、現場氣體發生器、氣瓶和批量供應的電子特種氣體,另外還涉及到大宗氣體儲存和分配系統、氣櫃和配氣管等系統和專業服務等。

回顧林德等工業氣體龍頭可以發現,其早期以空分氣體及設備為立足點,逐步打入電子用氣、醫療用氣等領域,其優勢在於利用大型空分裝置切入下遊客戶,藉助平臺優勢順勢發展成為氣體綜合解決方案提供商。

對應地,林德的氣體業務營收佔比已由 2015 年的 75.0%提升至 2018 年的 85.4%。

慧瞻模式:專注電子特氣,內生+收購,從單一品類向多品類拓展。慧瞻材料成立於 2015年,前身為空氣化工產品公司的電子材料部,後單獨上市,空氣化工產品公司的股東即為慧瞻材料的原始股東。公司於 20 世紀 70 年代進軍電子行業,立足於三氟化氮等產品,逐步向整套電子化學品拓展。慧瞻材料的核心競爭力在於產品多樣性、服務即時性以及客戶的優質性。

公司產品包括有機矽烷、金屬有機化合物等薄膜沉積前驅體,CMP 漿料(拋光液),拋光清洗液,刻蝕,清洗氣體,高純離子摻雜氣體等。服務方面,公司在美國和韓國各設立一家設備安裝及現場維護公司,為客戶提供即時的氣體安裝及現場維護服務。客戶方面,聚焦下遊龍頭企業,其中 Intel、三星、臺積電為公司 2017 財年前三大客戶。公司於 2019 年底退市,退市前估值約 58 億美金,對應 PE 約 29 倍。

②國內企業各具優勢,競爭錯位

國內空分企業與特氣企業分明,業務上構築各自壁壘。國內氣體公司包括以杭氧、盈德、寶鋼氣體為代表的空分企業,主要是以管道氣為主的現場制氣項目,可能更適合林德模式切入特種氣體,作為氣體綜合服務商的角色,進行空分和特氣資源的整合。作為空分巨頭,內生進行特氣技術和產品的開發,難度相對較大且所需時間周期較長,未來更多或以業務合作或收購的模式開展相關業務,相關企業的優勢在於資金實力和體量優勢。特氣企業的優勢在於對細化特氣產品的技術積澱,以及對相應產品在下遊客戶的認證壁壘,目前來看,國內空分企業和特氣企業不存在直接的競爭。

特氣企業錯位競爭,各具優勢。特種氣體品類較多,國內各企業具有各自的核心產品品類,比如南大光電的 MO 源,雅克科技的氟碳類氣體、三氟化氮,華特氣體的六氟乙烷、光刻氣,718 所的三氟化氮、六氟化鎢,金宏氣體的超純氨等等。此外,下遊的客戶也各有側重,比如金宏氣體更多面向 LED 企業,華特氣體主要面向半導體晶圓廠,綠菱電子主要對接國際氣體巨頭等等。我們認為未來國內特氣公司的成長路徑在於內生+外 延+產業資源整合拓展品類,同時開拓應用領域和客戶群,打造成為國內領先的特種氣體一體化供應平臺。

四、產業鏈重點公司

產業鏈相關公司眾多,主要的上市公司有華特氣體、雅克科技、昊華科技、南大光電、巨化股份、凱美特氣等。此外,金宏氣體擬科創板上市。

1、華特氣體:特種氣體國產化先行者

華特氣體前身為南海市華特氣體有限公司,公司成立之初,主要從事普通工業氣體的充裝、零售,2005 年正式確立特種氣體為主要研發及發展方向。目前公司業務主要分為特種氣體、普通工業氣體、氣體設備與工程三大部分。

公司下遊客戶包括中芯國際、長江存儲、臺積電等知名晶圓廠商。公司發布 2019 業績快報,2019 年實現營業收入 8.4億元,同比增長 3.1%;實現歸母淨利潤 0.8 億元,同比增長 14.4%。2019 年上半年,公司特種氣體業務實現營收 2.1 億元,佔比 53.4%;實現毛利 0.8 億元,佔比 60.1%,毛利率達到 40.7%。

公司特種氣體產能擴張項目穩步進行。根據公司的招股說明書,公司擬投資 3.5 億元用於氣體中心建設及倉儲經營項目,2.2 億元用於電子氣體生產純化及工業氣體充裝項目總投資。其中,氣體中心建設及倉儲經營項目主要為電子特氣產品,電子氣體生產純化及工業氣體充裝項目也涉及對氟碳類氣體如四氟化矽、六氟乙烷等電子氣體。

氣體中心建設及倉儲經營項目全部達產後,公司將新增產品年產能包括:高純鍺烷 10 噸、硒化氫 40 噸、磷烷 10 噸、年充裝混配氣體 500 噸、倉儲經營銷售砷烷 10 噸、乙硼烷 3 噸、氯氣 300 噸、三氟化硼 10 噸。電子氣體生產純化及工業氣體充裝項目分兩期完成,第一期投資建設規模為年生產 50 噸硫化氫、年純化 10 噸鍺化氫、100 噸四氟化矽、100噸六氟乙烷、100 噸八氟乙烷、100 噸一氟甲烷。

2、雅克科技:國內含氟氣體龍頭

公司積極轉型電子材料業務,電子特氣為方向之一。雅克科技的傳統業務為阻燃劑業務,2016-2018年,公司先後併購華飛電子、江蘇先科和成都科美特進軍電子材料業務,當前電子材料業務主要分為IC前驅體、電子特氣和封裝用球形矽微粉三大部分。公司下遊客戶包括SK海力士、三星電子、臺積電、中芯國際、長江存儲等世界知名半導體廠商。公司發布2019年業績快報,2019年實現營業收入18.4億元,同比增長18.6%,實現歸屬淨利潤2.5億元,同比增長90.6%,業績表現有較大增幅。2019上半年,公司電子特氣業務實現營業收入1.8億元,佔比20.3%,實現毛利0.8億元,佔比28.3%,毛利率達到46.9%。

2018 年公司完成了對成都科美特的股權收購,進入半導體刻蝕氣體領域。成都科美特公司是國內領先的六氟化硫和四氟化碳生產商,在行業內具有較強的競爭優勢。公司通過控制成都科美特進入半導體刻蝕氣體領域,豐富了公司的產品鏈。目前,科美特現已具備年產六氟化硫 8500 噸和年產 1200 噸電子級四氟化碳的生產能力,年產 3500 噸半導體用電子級三氟化氮項目正在建設中。此外,公司計劃通過新項目技術更新和項目建設,將六氟化硫的設計年產能增加至 13000 噸,四氟化碳的計劃年產能增加至 2700 噸。

3、昊華科技:國內高端氟材料及電子特氣領軍者

公司前身為天科股份,主營變壓吸附氣體分離技術及成套裝置、催化劑產品、碳一化學及工程設計。2018 年底中國昊華將旗下黎明院和光明院等 11 家化工研究院注入上市公司體內,並更名為昊華科技。2018 全年及 2019 年三季度,公司分別實現營收 41.8、33.3 億元,同比分別增長 14.7%、13.0%;分別實現歸母淨利 5.3、3.3 億元,同比分別增長 61.1%和降低 1.9%。2018 年,公司電子特氣業務實現營業收入 3.0 億元,佔比7.2%,實現毛利 1.0 億元,佔比 7.9%,毛利率達到 33.9%。

公司旗下黎明院、光明院主營電子特氣。黎明院和光明院均為優質化工科技型企業,科研力量雄厚。在含氟電子特氣領域,公司下屬黎明院主要產品六氟化硫、三氟化氮國內領先,在建六氟化鎢產能。黎明院是國內最早從事六氟化硫研發的企業,亦為國內僅有的高純度六氟化硫研製企業。公司下屬光明院的特種氣體產品在國防化工新材料、半導體集成電路、氣體分析等領域具有行業領先優勢。光明院在建高純電子氣體項目,將開發 8 英寸以上集成電路製造用乙硼烷、三氟化硼、電子混合氣等電子氣體產品。

含氟特氣項目即將帶來增量。公司公告旗下全資子公司黎明院擬投資 9.1 億元建設 4600噸含氟特氣項目,包括 3000 噸三氟化氮、1000 噸四氟化碳和 600 噸六氟化鎢,建設期預計為項目批覆後 18 個月。根據項目可行性報告,預計項目總投資收益率為 14.5%;財務內部收益率 17.1%,項目投資回收期為 6.7 年(含建設期 1.5 年)。三氟化氮可用作液晶顯示器的清洗劑及半導體的清洗和蝕刻,六氟化碳的主要作用於面板及半導體領域的清洗劑和蝕刻劑量,六氟化鎢主要用於金屬鎢化學氣相沉積 CVD 的原材料。隨著新增項目的建成與投產,含氟特氣將成為公司帶來業績新增量。

4、南大光電:MO 源龍頭進軍電子特氣市場

先進 MO 源生產企業,積極布局電子化學市場。公司是一家專業從事先進電子材料——高純金屬有機化合物(MO 源)的研發、生產和銷售的高新技術企業,對關鍵技術擁有完全自主智慧財產權,亦是全球 MO 源領導供應商之一。公司在 MO 源的合成製備、純化技術、分析檢測、封裝容器等方面已全面達到國際先進水平,可以實現 MO 源產品的全系列配套供應。公司正積極拓展新的領域,已經開發出多款應用於 IC 行業的先進電子化學品並通過了客戶驗證。公司發布 2019 年業績快報,2019 年實現營業收入 3.2 億元,同比增長 38.6%,實現歸屬淨利潤 0.5 億元,同比增長 4.0%,業績小幅提升。2019 上半年,公司電子特氣業務實現營業收入 0.5 億元,佔比 33.4%,實現毛利 0.3 億元,佔比 44.3%,毛利率達到 60.8%。

公司設立全椒子公司,進軍特種氣體領域。2017 年公司控股子公司全椒南大光電完成了高純磷烷、砷烷產品的研發和產線建設,依託母公司成熟的銷售渠道和優良的技術支持,順利將高純磷烷、砷烷產品在 LED 行業進行市場推廣,並納入到客戶的大規模生產中,取得了較好的銷售收入。

收購飛源氣體股權,布局氟系電氣市場。2019 年 11 月,公司採用現金收購及增資方式取得山東飛源氣體有限公司 58.0%股權。飛源氣體具備生產 1000 噸 NF3 的年產能和2000 噸 SF6 的年產能。飛源氣體的團隊擁有 20 年氟化工工程經驗,擁有較強持續研發能力,已經完成多種關鍵含氟電子材料的產業化準備。此次戰略合作,將有利於南大光電做大做強含氟電子特氣業務。

5、巨化股份:氟化工一體化龍頭,布局電子特氣業務

氟化工龍頭,聯手大基金布局電子特氣業務。公司擁有國內領先的氟化工、氯鹼化工綜合配套的氟化工製造業基地。2018 年 4 月,為避免同業競爭,公司將博瑞電子及其子公司博瑞中硝、凱聖氟化學及其子公司凱恆電子 100%股權轉至中巨芯科技有限公司。中巨芯是由公司、國家大基金和其他公司共同出資成立的聯營企業。公司與國家大基金分別出資 3.9 億,對中巨芯的持股比例均為 39%。

博瑞電子及其子公司博瑞中硝專注電子特氣業務。博瑞電子的業務涵蓋電子氣體板塊,產品主要包括電子級氯氣、氯化氫,電子級氟化氫等含氟系列氣體,主要用於集成電路、平板顯示等製造過程中的乾式和溼式清洗、蝕刻、成膜及摻雜等工藝。

6、凱美特氣:國內食品級液體 CO2龍頭

公司積極開拓工業氣體市場。公司由深圳化塑、中石化巴陵石化以及香港信德共同出資成立,是國內以化工尾氣為原料,年產能最大的食品級液體二氧化碳生產企業。除 CO2業務之外,公司近年積極布局其他工業氣體,產品還包括氬氣、氫氣、精餾可燃氣等。近年來工業氣體業務快速發展,2019 年半年度營收累計佔比超過 50%。公司發布 2019年業績快報,2019 年實現營業收入 5.1 億元,同比增長 2.0%,實現歸屬淨利潤 0.9 億元,同比下降 4.1%。

長嶺凱美特成功開車,氫氣供氣量增加。公司於 2019 年 8 月 20 日發布子公司長嶺凱美特技改完成並重啟的公告,在歷時 270 天的技術改造後,長嶺凱美特變壓吸附裝置改造後引入中石化長嶺分公司制氫裝置乙苯尾氣,順利產出合格的氫氣送入中石化長嶺分公司裝置氫氣管網。本次裝置重啟後,原材料氫氣將穩定供應,開工率有望實現大幅提升。

公司電子氣體項目穩步進行。2017 年 9 月公司發布公告,通過引進國外技術,總投資3.1 億元,新建 25 套電子特種氣體項目生產裝置,採用低溫吸附、深冷精餾分離、電解、催化合成技術,即將擁有生產高純度電子氣體的工藝。電子特氣項目先期啟動一期項目建設,建設規模為新建 12 套電子特種氣體生產及輔助裝置。一期工程產品方案為:5N氪、5N 氙、5N 一氧化碳、5N 氖、6N 氦、6N 氫、6N 二氧化碳、6N 氮氣、6N 氬氣和氟基雷射混配氣、動態混配氣、氯化氫基雷射混配氣三種混配氣體。電子特氣項目在未來的建成投產,將為公司增加新的利潤增長點。

7、金宏氣體:深耕長三角地區,氣體行業領跑者

金宏氣體是長三角地區的氣體廠商,公司目前已初步建立品類完備、布局合理、配送可靠的氣體供應和服務網絡,能夠為客戶提供特種氣體、大宗氣體和天然氣三大類100多個氣體品種。公司的特種氣體品種包括:超純氨、氫氣、氧化亞氮、氦氣、混合氣、醫用氣體、氟碳氣體等。公司下遊客戶包括集成電路行業的晶方半導體、上海新傲、廈門聯芯;液晶面板行業的京東方、天馬微電子、TCL華晶、中電熊貓;LED行業的三安光電、聚燦光電、乾照光電;光纖通信行業的亨通光電、富通集團;光伏行業的通威太陽能、天合光能、隆基股份等。公司2019年實現營業收入11.6億元,同比增長8.5%,實現歸屬淨利潤1.8億元,同比增長27.4%。2019年,公司特種氣體業務實現營業收入4.6億元,佔比39.6%,實現毛利2.5億元,佔比44.7%,毛利率達到54.8%。

募資開拓氣體市場,加大半導體用特種氣體項目建設。公司擬投資 2.1 億元建設「張家港金宏氣體有限公司超大規模集成電路用高純氣體項目」,項目建成後將形成年提純2,400 萬標立方米高純氫氣、年生產 1,000 噸 5N 高純二氧化碳、25 噸 5N 高純甲烷、100 噸 5N 高純六氟乙烷、60 噸 5N 高純三氟甲烷和 100 噸 5N 高純八氟環丁烷的生產規模。項目建設期 18 個月,項目財務內部收益率所得稅後 25.5%。公司擬投資約 0.3億元建設「蘇州金宏氣體股份有限公司研發中心項目」,研發方向為電子半導體領域不可或缺的高端材料(特種氣體及其混合氣體等電子化學品)。

編輯:芯智訊-浪客劍

資料來源:長江證券《IC 東進勢已起,電子特氣迎春風》

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    不久前,我們為大家介紹了中國在半導體製造所需的關鍵材料——光刻膠領域的現狀。今天再來為大家介紹另一種半導體製造所需的關鍵材料——電子特氣的國產化布局。一、電子特氣:半導體工業的關鍵原料電子特氣是電子工業的關鍵原料,屬於工業氣體的重要分支。
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    正是這些氣體通過不同的製程使矽片具有半導體性能,它又決定了集成電路的性能、集成度、成品率。即使是某一種某一個特定雜質超標,都將導致質量嚴重缺陷,嚴重時會因不合格氣體的擴散,導致整個生產線被汙染,乃至生產全面癱瘓。因此,電子氣體是電子製造過程關鍵基礎材料,是名副其實的電子工業「血液」。
  • 2020年中國電子特氣行業市場現狀及發展前景分析 國家政策推動國產...
    1、電子特氣行業產業鏈分析電子特氣,即電子特種氣體,是工業氣體行業的細分行業之一,根據國家統計局《國民經濟行業分類(GB/T 4754-2017)》標準,電子特氣行業歸屬於「C2619-其他基礎化學原料製造」。
  • 電子特氣系統在半導體製程擴散工藝中的應用
    在半導體製造中,擴散工藝是一種常用的生產工藝,是一種摻雜技術,而電子特氣系統是能將擴散工藝所需的元素氣體原材料,在保護氣體純度的同時,安全穩定的供應到使用設備。擴散工藝是一種摻雜技術,在高溫條件下,利用熱擴散原理將雜質元素按工藝要求對半導體晶圓進行摻雜,即將元素磷、硼擴散入矽襯底中,從而改變和控制半導體內雜質的類型、濃度和分布,改變矽材料的電學特性,以便建立起不同的電特性區域。擴散工藝在半導體製造中的應用主要體現在對關鍵結構PN結形成的作用上。
  • 半導體特種氣體行業專題報告:「創新」引領特氣投資新時代
    氣體:工業的「血液」:特種氣體為工業氣體的重要分支,其中電子半導體為特種氣體的重要市場。半導體電子特氣應用於沉積、光刻、刻蝕、熱處理、摻雜等晶圓製造的各個環節。主要的氣體大類為氟碳類(刻蝕、清洗為主)、單質類(稀釋,絕緣, 氧化)、摻雜類(砷烷、磷烷等)、光刻類(惰性氣體混合氣)、CVD類(矽烷、鍺烷等)等。壁壘:技術為本,服務為綱技術壁壘。
  • 從5%到100% 電子化學品的國產化率差距竟然如此大!
    溼電子化學品又稱超淨高純試劑,國際上通稱工藝化學品,在半導體、平板顯示和太陽能電池等多個領域應用。光刻膠國際上稱光致抗蝕劑,在半導體、平板顯示和印製電路板等領域應用。實現光刻膠、電子氣體、溼電子化學品等關鍵電子化學品的自主生產,解決「卡脖子」問題,是我國打造國際競爭力電子信息產業鏈安全和國防安全的重要物質保障,具有重大的現實意義和深遠的戰略意義。
  • 半導體材料專題報告:電子氣體投資寶典
    電子特種氣體廣泛用於集成電路、顯示面板、光伏能源、新能源汽車等領域,近年來下遊產業技術快速更迭。特 別是在集成電路製造領域,隨著製程節點的不斷減小,從 28nm 製程到 7nm 製程。在晶圓尺寸方面,從 8 寸晶圓到 12 寸晶圓。特種氣體作為集成電路製造的關鍵材料,伴隨著下遊產業技術的快速迭代,特種氣體的精細化程度持續提高, 特別是在純度和精度方面,對特氣的要求持續提高。
  • 一文看懂中國醫療電子市場與半導體產業之間的關係
    截至2014年,中國半導體市場規模佔世界半導體份額已經由10年前的21%提升至56%,而2014年中國半導體銷售額佔世界半導體份額僅24%,消費額與銷售量明顯錯配。   設備銷售乏力與中國高速增長的市場需求不相匹配:2015年,我國大陸地區半導體專用設備市場銷售規模達304.60億元(合49.0億美元),其中國產集成電路設備銷售額僅為22.92億元,佔比不到8%,國內專用設備市場仍主要由美國應用材料(AppliedMaterial)、美國泛林半導體(LamResearch)、日本東京電子(TokyoElectron)、日本愛德萬(Advantest
  • 電子特氣有望實現全面國產化替代
    原標題:電子特氣有望實現全面國產化替代   電子特氣由於其獨特的產品特性、較大的市場空間以及較快的國產替代進度,預計會成為電子材料國產化替代大潮下最早實現全面國產化替代的細分領域
  • 半導體電子氣體的國產機會
    要聞 半導體電子氣體的國產機會 2020年2月23日 12:18:44 國盛證券本文來自 國盛證券,摘自《中國半導體材料產業投資手冊 ——政策驅動疊加產能轉移,國產替代勢在必行》。電子氣體是指用於半導體及相關電子產品生產的特種氣體,應用範圍十分廣泛。
  • 中銀國際證券:清洗設備國產化率與刻蝕設備國產化率基本持平
    英寸晶圓產線上僅有盛美半導體持續獲得清洗設備重複訂單,推動清洗設備國產化率達到22%,與中微、北方華創、屹唐共同主導的刻蝕設備國產化率基本相當。盛美半導體從客戶在製程工藝中遇到的實際問題出發,研發出SAPS、TEBO等清洗技術,清洗設備被國際客戶持續重複採購用於DRAM等製造工藝,打破國際市場壟斷格局。本土12英寸晶圓廠的清洗設備主要來自Lam Research、Screen、TEL、盛美半導體,盛美半導體已成為清洗設備本土市場上第二大供應商。
  • 一文看懂亞太四大半導體市場的崛起
    柳暗花明, 曙光初現疫情最初僅在中國大陸引發供應端問題, 但隨著疫情向全球蔓延, 需求端的問題開始影響消費者, 逐步觸及全球。考慮到全球失業率上升, 預計未來一兩年內消費支出將出現下滑。由於中國大陸的出貨量約佔全球四分之一, 因此造成巨大衝擊。智慧型手機依舊是半導體產品需求的最大驅動因素。儘管需求不穩定, 中國大陸的OEM依舊專注於研發5G手機。隨著ODM和OEM推出一系列5G 設備, 將有助於豐富半導體產品。2020年第一季度初, 智慧型手機、 計算、 聯網和內存板塊出現一定反彈。
  • 半導體材料電子氣體投資寶典(附59頁深度)
    在晶圓尺寸方面,從8寸晶圓到12寸晶圓。特種氣體作為集成電路製造的關鍵材料,伴隨著下遊產業技術的快速迭代,特種氣體的精細化程度持續提高,特別是在純度和精度方面,對特氣的要求持續提高。比如在純度方面,普通工業氣體要求在99.99%左右,但是在先進位程的集成電路製造過程中,氣體純度要求在6N(99.9999%)以上。
  • 凱美特氣:電子特氣逐步放量 傳統氣體盈利穩健
    原標題:凱美特氣:電子特氣逐步放量 傳統氣體盈利穩健   凱美特氣新產能電子特氣在1月份實現試生產,並已在七月份取得《危險化學品經營許可證》,實現電子特氣量產
  • 半導體材料國產化替代之路任重道遠
    就以大矽片為例,目前國內有上海新昇等少數企業實現12 英寸大矽片量產,國產化率也僅約10%;光刻膠也僅有少數企業布局ArF、KrF光刻膠,尚無企業涉及EUV光刻膠; 靶材對外依存度仍然高於90%;電子特氣國產化率約25%;溼化學品國產化率約25%。
  • 一文看懂半導體檢測設備
    半導體檢測貫穿整個半導體製造,從設計驗證到最終測試都不可或缺,按照電子系統故障檢測中的「十倍法則」:如果一個晶片中的故障沒有在晶片測試時發現,那麼在電路板(PCB)級別發現故障的成本就晶片級別的十倍。以此類推半導體檢測失效損失呈指數增長,測試在製造過程中的地位不言而喻。測試設備需求旺盛,國內公司已有一定技術積累。
  • 刻蝕機國產化率迅速提升,長江存儲2020年達30%
    北方華創ICP刻蝕機累計交付1000腔刻蝕機國產化率迅速提升,長江存儲2020年達30%半導體光刻與刻蝕論壇2020將於2020年12月30-31日召開。刻蝕設備與材料的國產化將是重要議題之一。——北方華創ICP刻蝕機累計交付1000腔!
  • 2020年中國集成電路用電子化學品行業發展現狀及前景分析 未來市場...
    電子化學品成為發展電子工業關鍵材料電子化學品是電子工業重要的支撐材料之一,其質量的好壞,不但直接影響到電子產品的質量,而且對微電子製造技術的產業化有重大影響。IC產業的發展要求電子化學品產業與之同步。因此,電子化學品成為世界各國為發展電子工業而優先開發的關鍵材料之一。
  • 中國半導體不再被「卡脖子」!從材料開始,解密十大新材料替代現狀
    8、 電子特氣:需求空間大,拉開進口替代序幕電子特種氣體是集成電路、顯示面板、光伏能源、光纖光纜等電子產業加工製造過程中不可或缺的關鍵材料,其市場規模保持高速發展。2010-2018 年,我國電子特氣市場規模複合增速達 15.3%,2018 年我國電子特氣市場規模達 121.56 億元。其中,半導體製造用電子特氣市場規模約 45 億元。
  • 中國半導體不再被「卡脖子」!從材料開始,解密十大新材料替代現狀...
    8、 電子特氣:需求空間大,拉開進口替代序幕電子特種氣體是集成電路、顯示面板、光伏能源、光纖光纜等電子產業加工製造過程中不可或缺的關鍵材料,其市場規模保持高速發展。其中,半導體製造用電子特氣市場規模約 45 億元。