北極星太陽能光伏網訊:摘要:針對晶體矽太陽電池缺陷的檢測問題,利用多種測試設備(EL、PL、Corescan等),在電池製作的主要工序段(擴散、鍍膜、印刷、燒結)對矽片和電池片進行檢測,歸納和總結了電池的各種典型缺陷的成因,利用這些檢測手段和分析結果,能夠及時有效地反饋生產過程中產生的缺陷類型,有利於生產工藝的改進和質量的控制。
(來源:微信公眾號「摩爾光伏」)
1、引言
晶矽太陽能電池在製造過程中通常採用制絨、擴散、刻蝕、PECVD、印刷、燒結幾道工序,由於一些機械應力、熱應力及人為等不穩定因素的存在,會不可避免的造成矽片的一些隱性缺陷如汙染、裂紋、擴散不均勻等,這類缺陷的存在大大降低了電池片的光電轉換效率,導致公司增加經濟損失。利用多種測試設備如EL、PL、corescan等檢測矽片、半成品電池及成品電池存在的各種隱形缺陷,改善工藝參數,降低產品的不合格率,為公司提高成品率,大大的降低成本。
2、檢測設備工作原理
2.1光致發光(PL)
PL是檢測原材料的有效方法,如Fig.2-1所示,以大於半導體矽片禁帶寬度的光作為激發手段,激發矽中的載流子,當撤去光源後,處於激發態的電子屬於亞穩態,在短時間內會回到基態,這一過程中會釋放波長為1100nm的光子,光子被靈敏的CCD相機捕獲,得到矽片的輻射複合圖像[1]。
Fig.2-1光致發光
2.2電致發光(EL)
EL與PL工作原理相似,但不同之處在於激發非平衡載流子的方式不同,即在電池的正向偏壓下,注入非平衡載流子(Fig.2-2)。
Fig.2-2電致發光
2.3微波光電導衰減法(u-PCD)
u-PCD主要包括904nm的雷射注入產生電子-空穴對(Fig.2-3a),導致樣品的電導率增加,當撤去外界光注入時(Fig.2-3b),電導率隨時間指數衰減,這一趨勢間接反應少數載流子的衰減趨勢,從而通過微波探測電導率隨時間變化的趨勢得到載流子的壽命。
Fig.2-3a雷射激發
Fig.2-3b微波探測
2.4方塊電阻掃描(SHR)
SHR測試探頭在中心有一個雷射源(Fig.2-4),緊跟著有兩個同心圓環形電容電極,雷射的頻率可以調整。雷射注入產生電子空穴,內建電場將電子空穴分離,將產生表面勢,表面勢反映了SHR信號並且向橫向擴散,內外探頭獲取表面勢。矽片的方阻通過在兩個電容電極測量電勢的比率計算。
Fig.2-4SHR
2.5串聯電阻掃描(Corescan)
Corescan的掃描頭包含一個光源和金屬探針(Fig.2-5),掃描過程中,將電池片短路連接,掃描頭以固定的掃描間距、速度移動,光源照射在電池片上產生光生電流,同時金屬探針在電池片表面划動,測量光照位置的電壓值,電壓值即表徵了電池片正面的串聯電阻的大小。
Fig.2-5Corescan
3、結果及討論
3.1原材料缺陷
原材料的優劣影響電池片的光電轉換效率,有效的檢測原材料的優劣,降低原材料的不合格率,能夠直接減少經濟損失。Fig.3-1所示為「黑晶片」的PL圖片,在光照條件下,黑色區域存在大量的缺陷,它們起到複合中心作用,使得載流子在此處複合時發出較弱的光,而溫場不均勻造成的位錯或雜質氧沉澱導致黑晶片的產生,其電池片的電性能一般顯示為Irev、Rs略高、Rsh較正常,Voc稍低,只是Isc明顯偏小。
Fig.3-1黑晶片
Fig.3-2a為「四角黑」電池片的EL圖片,腐蝕掉正背面電極、氮化矽、PN結後測試其少子壽命,如Fig.3-2c所示,從圖中可看出,電池片黑角區域的壽命相對正常區域嚴重偏低,說明此處存在大量的缺陷,可能原因是矽棒在拉制過程中,外層有汙染或有晶體缺陷產生,而導致矽材料的性能下降。一般電池片的電性能顯示為Voc稍低,Isc明顯偏小,其餘性能參數較正常。
Fig.3-2四角黑
從附表1的IV數據可以看出,整體暗電池片的Voc比正常片低了12mv,通過Fig.3-3的EL圖像(同一亮度)可以明顯看出兩片電池片的差異。腐蝕兩片電池片的氮化矽薄膜、正背面電極、電場及PN結後測得整體暗的電池片平均壽命為8.76us,而正常片的平均壽命為11.45us(Fig.3-3c、d),原材料中含有過多的雜質導致複合增加是造成Voc偏低的主要原因。
Fig.3-3整體暗
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