曝光機操作注意事項及規程

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曝光機操作注意事項及規程

發表於 2018-04-10 15:41:16

　　曝光機是什麼

　　紫外線曝光機是指通過開啟燈光發出UVA波長的紫外線，將膠片或其他透明體上的圖像信息轉移到塗有感光物質的表面上的機器設備。

　　曝光機工作原理

　　在計算機的控制下，利用聚焦電子束對有機聚合物（通常稱為電子抗蝕劑或光刻膠）進行曝光，受電子束輻照後的光刻膠，其物理化學性質發生變化，在一定的溶劑中形成良溶或非良溶區域，從而在抗蝕劑上形成精細圖形。

　　

　　曝光機用途

　　更廣範圍（UV，DUV，NUV）的紫外光波長選擇，出射光強範圍：8mW/cm2~40mW/cm2。

　　支持恆定光強或恆定功率模式。

　　廣泛應用於半導體、微電子、生物器件和納米科技領。

　　常見曝光機舉例：MYCRO美國製造的恩科優（N&Q）紫外曝光系統，適用於從特殊大小的基片到4尺寸很寬廣範圍材料的紫外或深紫外光曝光。NXQ400-6系統成功地應用於半導體製造，光電電子，平板，射頻微波，衍射光學，微機電系統，凹凸或覆晶設備和其他要求精細印製和精度對準的應用。

　　曝光機操作注意事項及規程

　　一、開機前注意事項：

　　1、檢查氣密調壓閥﹑輔助氣缸壓力閥﹑燈頭吃氣流量計顯示器是否正常，各光電按鈕是否靈敏；

　　2、檢查冰水水箱水位是否在限值範圍內;水泵電源開關﹑真空電源開關的狀態是否正常；

　　3、檢查機器臺面﹑曝光框內（外）﹑履帶線槽﹑傳動皮帶是否有異物或者堵塞。

　　

　　二、操作時注意事項：

　　1、開機程序：主電源燈室冰水機冷風扇點燈；

　　2、檢查機臺開機後冰水機有無開啟，上（下）水套是否正常；

　　3、點燈達到穩定狀態後，電流﹑電壓是否達到正常值；

　　4、若出現停水時，應立即停止生產，將燈管熄滅，進行維修檢查；

　　5、若停點立即關閉主電源；

　　6、曝光燈管出現異常時，必須停機短電進行更換作業；

　　7、若有緊急情況發生時，按下「緊急停止按鈕」，然後關閉設備，緊急情況處理完畢後，依開機程序開啟機器；

　　8、新員工（無上崗證）不可單獨作業，須由輔導員在現場指導。

　　

　　三、關機注意事項

　　1、關機前，先確認燈管是否在熄燈狀態；

　　2、熄燈後不可立即關閉冰水泵，須等待15分鐘，燈管冷卻後方可關閉冰水泵；

　　3、確認曝光框架是否關閉；

　　4、檢查機臺後方冷凝水是否已滿。並清理承接桶內的冷凝水；

　　5、做好工作區域的「6S」工作。

　　

　　四、維修保養注意事項：

　　1、進行保養作業時，必須保持曝光機為停機狀態；

　　2、進行維修保養作業時，必須穿帶必要的防護用品；

　　3、機器設備維修時，應在開機按鈕處張貼「機器維修中，請勿啟動」等標識；

　　4、機器設備維修時，禁止其它人員對電腦軟體進行操作；

　　5、保養時，檢查氣缸的壓力和密閉性，水箱是否漏水或堵塞；

　　6、檢查各部位滑動軌道及滑座潤滑度；

　　7、檢查各部位電源配線連接有無鬆脫斷裂；

　　8、檢查燈管燈座連接是否鬆脫或接觸不良。

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