半導體工藝尾氣處理設備Local Scrubber中的「安全」

2021-02-14 氣體應用資訊

半導體製程生產中會用到大量的有毒腐蝕性易燃的特殊氣體、化學品和有機溶劑等原材料，這些物質所產生的廢氣在冗長的排氣過程中，因其氣體性質可能會引發風管堵塞、管路腐蝕等，導致氣體洩漏、火災爆炸等事故，所以應先在就近的小型尾氣處理設備（Local Scrubber）進行處理，後再進入中央處理系統處理。

小型尾氣處理設備（Local Scrubber）根據處理廢氣方式，大致分四類：水洗式、氧化式、吸附式和等離子燃燒式，今天給大家介紹的是吸附式尾氣處理設備，和該設備中設計、結構和功能上的「安全」。

吸附式尾氣處理設備設計上：


1、小型尾氣處理設備（Local Scrubber）設計初衷是為了查漏補缺和應急使用，保護環境和人員安全。

2、以吸附桶完全處理設備尾氣，確保尾氣處理的安全性處理過程中沒有危害；

3、在無塵室內不產生火源，沒有明火，可以減少事故的發生；

吸附式尾氣處理設備結構上：

1、PLC 觸控面板設計和人機接口控制系統，可實現設備安全有效的運行。

2、全面監控：各管路進、出口設計壓力、溫度、CDA流量、N2流量傳感器，針對設備運行時各種狀況，隨時監控，避免洩漏等事故的發生。

3、尾氣出口處：安裝變頻風機，可根據進出口壓力，調整風機轉速，避免廢氣回流，保護系統及設備安全。

4、指示劑：配備PH3, AsH3氣體監控變色球指示劑，替代傳統電化學計。

尾氣處理設備功能中：


半導體製造生產的廢氣對環境或人體皆具有一定的危害性，必須防止其直接排放大氣中，所以一般半導體廠都會加裝大型中央廢氣處理系統。但由於工作區域多半離中央廢氣處理系統遠，常因氣體特性導致管路中結晶或粉塵堆積造成管路堵塞後導致氣體洩漏，嚴重者甚至引起爆炸，無法確保現場工作人員之工作安全。因此在工作區域需配置適合工藝氣體特性的小型尾氣處理設備(Local Scrubber)，以減少在工作區域滯留的廢氣確保人員安全。

以上，便是關於吸附式尾氣處理設備中設計理念、結構組成和功能作用上的「安全」介紹，今天就到這了，感謝您的閱讀！

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