荷蘭ASML公司的財報顯示,2019年,公司一共銷售了26臺EUV光刻機,營收高達31.43億美元。因此,一臺EUV光刻機的價格約為1.2億美元,相當於人民幣7.8億。
然而,有一種機器的價格甚至比光刻機還要貴一點,這種機器叫做「蒸鍍機」。在2017年,日本一家公司製造的蒸鍍機能賣到1.4億美元的價格(人民幣9.2億元),其價值逼近10億。這家日本公司名叫Canon Tokki,並且其年產量差不多只有9臺,大部分賣給了韓國的三星和LG公司。因此,蒸鍍機的價值極高,甚至有價無市。
大多數人應該不了解「蒸鍍機」,但是很多人知道OLED屏幕。除了手機晶片,OLED屏幕也是重要的組件,目前華為、三星和OPPO手機使用的都是OLED屏幕。而製作OLED屏幕就離不開蒸鍍機,它可以使OLED材料蒸鍍成膜,然後製成發光器件。蒸鍍機的製作工藝是相當複雜的,因此,蒸鍍機相當於屏幕界的「光刻機」。
然而,日本的Canon Tokki公司一直壟斷著蒸鍍機行業。2018年以前,日本佳能Tokki是OLED蒸餾設備的主要製造商,市場份額高達90%。並且Canon Tokki公司製造的蒸鍍機基本賣給了韓國三星和LG公司。所以在OLED方面,中國也被卡住了脖子。
但是這種情況消失了,目前中國也能生產蒸鍍機了。值得一提的是,我國有3家企業攻克了蒸鍍機技術,這3家企業是合肥欣奕華公司、中山凱旋公司以及合肥萊德公司。
合肥欣奕華公司最先攻破了蒸鍍機技術,它也是這三家公司裡實力最強的。欣奕華研發團隊開發的蒸鍍機對位系統,能夠把對位精度控制在1.5um之內。此外,對於OLED蒸發源的關鍵核心技術,欣奕華公司也已經掌握,並且開始實現量產。同時,在長時間蒸發穩定性、蒸鍍厚度均勻性、膜層分子結構穩定性等技術指標上,欣奕華蒸鍍機也達到國際領先企業的水平。當然,中山凱旋與合肥萊德公司製造的蒸鍍機,各項指標也達到了國際先進水平。
現在我國出現了三家能製造OLED蒸鍍設備的企業,這打破了日本長期以來的壟斷。我國的蒸鍍機將逐漸投入市場,這會帶動很多行業,中國的科技也會越來越強大。