【探索】深度剖析,我們可以建造幾納米純國產晶片代工廠

2021-02-18 一水遮夏

華為最近被傳出要建一個45nm的廠子。咱先不說這消息是真是假,咱們來探索一下以國內的技術,能建一個多少nm製程的晶片代工廠。

我國是全世界唯一一個擁有半導體全產業鏈的國家。按照道理來說,我們應該可以完全依靠自己的能力組建一個晶片代工廠才對。

 

那麼問題來了,我們能組建多少製程的純國產代工廠呢?我相信,很多人和我一樣,對這個問題非常好奇。

 

我們先來理一理,造一個晶片代工廠,都需要什麼東西,或者說需要什麼設備和材料。

 

總的來講,製造一枚晶片,需要以下三大步驟。

單晶矽片製造、前道工序、後道工序。

單晶矽片製造,顧名思義,就是造矽片。至於什麼是矽片,我前幾篇文章有詳細的說過,大家有興趣可以再去溫習一下,我就不多說了。

在這一步驟中大致分為6個小流程分別是,拉單晶、磨外圓、切片、倒角、磨削或研磨、最後是CMP拋光。

前道工序中大致分為8個小流程,分別是,擴散、薄膜沉積、光刻、刻蝕、離子注入、CMP拋光、金屬化、測試。根據晶片類型不同,製程不同,擴散到離子注入這個環節可能要重複進行若干次,幾十次甚至幾百次。同時呢,這其中還要穿插著清洗的步驟,比如擴散前清洗、刻蝕後清洗等。

後道工藝中大致分為7個小流程,分別是,背面減薄、晶圓切割、貼片、引線鍵合、模塑、切筋/成型和終測。

上圖!大家可以保存一下。

這三大工序中,晶片代工廠做的最多的是前道工序,後道工序代工廠也會做一些,但更多的會交給封測廠去做。晶圓製造屬於半導體材料領域,代工廠也不幹這活。

 

正好說到材料了,順便說一下晶片製造的時候要用到的各種材料吧。剛才說到的矽片算一個,後面還有特氣、光掩膜、光刻膠、光刻膠輔助材料、溼化學品、靶材、拋光等。

 

我們現在就明確了,對於一個晶片代工廠來說,前道工序的設備和涉及到的材料是最為重要的。

 

於是我們就有了這麼一個邏輯,要想造一個晶片代工廠,就必須得有:

八大設備:擴散、薄膜沉積、光刻、刻蝕、離子注入、CMP拋光、清洗、測試

八大材料:矽片、電子特氣、光掩膜、光刻膠、光刻膠輔助材料、溼化學品、靶材、拋光

 

眾所周知,生產一枚晶片需要經過上千道工序。任何一道工序出錯了,就會極大的降低晶片的良品率。進而導致代工廠的成本飆升。我們這裡依舊要把英特爾拿出來鞭屍,因為在10nm節點英特爾作死一樣的用DUV來搞SAQP,四重曝光。結果導致良品率爆炸,10nm難產,英特爾淪為牙膏廠。

 

這就是一個標準的木桶原理,短板多短決定了製程的先進程度。

 

大家明白這個概念之後,我們按照上面的邏輯開始探索,以國內的技術,到底能建一個多少nm製程的代工廠。

首先,氧化擴散設備。國內做的最好的是北方華創,目前產品的技術節點達到了14nm。公司的氧化擴散設備在長江存儲的市佔率達到64%,退火設備市佔率達到26%。

 

再來,薄膜沉積設備,主要是PVD和CVD兩個領域。CVD裡面有個細分叫ALD,原子氣相沉積,是目前最先進的技術。PVD這塊,還是北方華創。目前北方華創PVD產品的技術節點應該在28nm,但是也有消息說14nm的產品進入了生產線驗證。僅從官網上的公開信息來看,北方華創的PVD設備是可以滿足28nm技術節點要求的。

北方華創的CVD設備目前來看也是28nm,當然,官網信息。但是ALD設備就比較先進了,已經能做到14nm。還有一家企業,叫瀋陽拓荊,專注於CVD領域的公司。技術和北方華創差不多,ALD設備能做到14nm。不過拓荊在CVD方面有一套專門為128層 3D NAND技術設計的CVD設備,這算是獨門絕技。

 

又到了喜聞樂見的環節,光刻設備。但請注意,光刻工序裡面有兩道設備,一道是大家非常熟悉光刻機,一道叫做塗膠顯影機。

我們先說塗膠顯影機,國內有一家公司叫芯源微,是專門做塗膠顯影機的。目前公司最先進的產品可以滿足28nm製程工藝,並且已通過上海華力的工藝驗證。14nm節點的產品還在研發當中。

光刻機是最令人頭禿的一個環節。國內目前只有上海微電子的90nm光刻機,而且聽說非常不好用,被人嫌棄,扔在角落。但是也有消息說,上微正在研發28nm光刻機。從各種公開資料以及一些專利和論文來分析,這臺光刻機對標的大概率是ASML10年前的產品,NXT1900。當然,也不排除上微爆發一波,直接對標到NXT1950。

 

刻蝕環節是我們的強項,有請大名鼎鼎的中微半導體!目前中微的介質刻蝕產品技術節點已經到5nm了,成功打入臺積電的生產線,強的雅痞。並且中微也完成了3D NAND刻蝕工藝中最難的「超深寬比刻蝕」工藝的研發,已經申請了專利。產品一出來,那長江存儲招標妥妥的都給中微了。除了介質刻蝕,還有金屬刻蝕和矽刻蝕,這倆是北方華創在做。根據官網的信息,技術節點達到了14nm。

 

離子注入這個部分呢國內有兩個企業在做,中科信和凱世通。目前來說,兩家技術並沒有特別大的差距,並且這兩家還有過緊密的合作。中科信的離子注入設備目前可以做到22nm技術節點,凱世通28nm。那可以認為離子注入目前滿足的是22nm製程需求。

 

CMP拋光設備這個環節,國內也是兩家在做,華海清科和中電科。從官網的信息來看,目前華海清科的拋光設備最高可以滿足14nm製程的需求。中電科官網建設的極其魔幻,半天進不去,我一度以為需要架個梯子才行。後來進去了也沒發現啥有用的信息。咱們就以華海清科的設備為主吧。

 

清洗設備目前有北方華創、盛美半導體、至純科技和芯源微在做。從官網公布的產品來看,北方華創產品的技術節點目前在28nm,盛美半導體的技術也在28nm。至純科技和芯源微的產品沒看到具體的技術節點,那就當做不如28nm先進。所以清洗這塊就定在28nm。

 

最後一個是前道檢測設備,目前做的不錯的有四家企業,睿勵科學儀器、中科飛測、上海精測和賽騰股份。睿勵科學的產品已經應用在28nm產品線中,14nm正在驗證。中科飛測的產品進入長江存儲生產線。上海精測和賽騰股份的產品沒有太多細節。所以前道檢測設備我認為按照28nm算比較合適。

 

我們做個總結,國產半導體設備目前的技術情況是這樣的。

除了光刻機之外,所有設備的技術節點都達到了28nm,有部分設備進入14nm。

如果啊,我說如果。如果只看設備這一個維度的話,完全可以造一個「100%」純國產的晶片代工廠。注意啊,我加了一個引號。為什麼我要加這個引號呢?因為光刻機暫時達不到要求。但是,生產28nm不需要最先進的EUV,甚至也不需要DUV光刻機裡最先進的機型。換句話說,買個二手的ASML光刻機,一樣可以幹活。我買二手,美國還能管得著?

按照這個邏輯,可以先把廠子搭起來,跑起來,再說其他的事情。先用ASML的二手光刻機,等著上微的新光刻機下線。這是一條非常實用,也非常符合實際需求的路子。

 

但是,當我們把材料考慮進來的時候,場景又不一樣了。畢竟製造晶片只有設備沒有材料,就和廚房裡只有鍋碗瓢盆,沒有柴米油鹽醬醋茶,雞鴨魚肉菜果瓜一個道理啊,巧婦難為無米之炊,對吧~

大尺寸矽片沒問題,滬矽產業旗下的新昇半導體已經量產了可用於28nm製程的300mm晶圓。什麼?你說不知道?快去看我上一期視頻。。

光刻膠理論上來說也沒問題。南大光電的ArF光刻膠已經在廠子裡驗證挺久時間了,估計馬上就要量產了。

拋光液也沒問題,安集科技完全可以生產28nm的拋光液。

光罩理論上來說也沒有問題,中芯國際、長江存儲都會做光罩,實在不行,讓他們來幫忙也可以。

但是,注意啊,細節來了。

電子特氣、拋光墊、高純靶材和溼化學品這幾個領域說真的,國內現在還沒法做到100%完全覆蓋。比如,90%的拋光墊來自美國陶氏;某些高純特氣、靶材、溼化學品來自日本和美國。

 

那有人就會說了,阿一水,照你這個邏輯,沒有材料,國內完全沒法做28nm的代工廠啊?你完全就是在扯淡嘛!

 

哎,別急,辦法總比困難多嘛。材料和設備是不一樣的,現在大部分設備都帶有定位功能,如果不是指定位置,那機器是沒法工作的。但是呢,材料這個東西它不能被定位。那這裡面可操作的範圍就大了。具體怎麼做嘛,還是那句老話,辦法總比困難多嘛~

 

所以,最後的結論!

 

以國內目前的技術情況,在購買二手ASML光刻機且不考慮工藝的前提下,可以組建一個95%國產率的晶片代工廠!等到上微最新的光刻機下線,那就是100%純國產28nm製程晶片代工廠!估計明年就差不多了,我猜的。但是,廠子好建,運營廠子的人可不好找啊。我們還得從基礎的人才抓起才行啊!

 

寫在最後

其實最近臺積電獲準向華為供貨的新聞也是被傳的沸沸揚揚,讓大家一度以為美國放鬆了對華為的制裁。然而實際情況卻是,臺積電只能向華為提供成熟製程工藝的產品。啥叫成熟製程,就是28nm以下。什麼16,14,7,5的,華為是永遠別想了。大家不要被美國的陰損招式懵逼了雙眼。

至於為什麼美國會放開28nm製程工藝?看完整個視頻大家應該明白了,因為國內的技術的確是達到了28nm,美國繼續封鎖下去也沒有意義了。還不如假惺惺的放開供應,既能讓某些人繼續恰到爛錢,還能打擊一下中國國產的產業鏈,順帶著引導一波輿論~你們說對吧。

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