隨著5nm工藝進入規模量產階段,臺積電也在第一季度的財報會議上首次披露3nm工藝節點的進展。按照臺積電官方的說法,第一代3nm工藝依然採用傳統的鰭式場效應管(FinFET)技術,GAA技術要在第二代3nm工藝上應用。採用FinFET工藝是臺積電經過評估多種選擇後,認為目前成本、能效的最佳選擇。
除了繼續使用FinFET技術外,臺積電同時披露了3nm工藝的電晶體密度,250MTr/mm2的密度可為前無古人。作為對比,採用臺積電7nm EUV工藝的麒麟990 5G的晶片尺寸113.31mm2,電晶體密度103億,平均電晶體密度符合此前公布的96.5MTr/mm2,是第一代7nm工藝的3.6倍。與第一代7nm工藝相比,臺積電5nm性能提升15%、能耗提升30%,而3nm較5nm性能提升7%、能耗提升15%。
此外,臺積電還表示,3nm工藝研發並未受疫情影響,進度符合預期,預計2021年進入風險試產階段,2022年下半年量產。臺積電對手三星則押寶3nm節點翻身,所以進度及技術選擇都很激進。三星3nm工藝將率先淘汰FinFET電晶體,直接使用GAA環繞柵極電晶體。但三星已經宣布,疫情已經影響到3nm工藝的開發。
編輯點評:隨著5nm工藝在2020年進入量產,更先進的3nm也被提上日程。2022年量產前,臺積電方面應該還會推出4nm工藝來彌補產品線,這個5nm工藝改良版應該會在2021年進入到大眾視野。