向碳基晶片更進一步:臺積電、斯坦福等聯手開發碳納米管電晶體新...
2021-01-06 澎湃新聞魚羊 編譯整理
量子位 報導 | 公眾號 QbitAI
5nm才剛嘗上鮮，臺積電的3nm廠房也已竣工，甚至傳出2nm工藝取得突破的消息。
眼看著摩爾定律極限將至，下一步突破，恐怕就要看碳納米管的了。
畢竟，晶片製造工藝達到5nm，就意味著單個電晶體柵極的長度僅為10個原子大小。而碳納米電晶體的直徑僅為1nm。
並且，導電更快、效率更高。
但從1998被提出至今，碳納米管晶片仍存在一系列設計、製造和功能上的問題，比如其在邏輯電路中充當開關時的控制問題。
現在，由臺積電首席科學家黃漢森領導，來自臺積電、史丹福大學和加州大學聖地牙哥分校的研究人員，提出了一種新的製造工藝，能更好地控制碳納米管電晶體。
並且，仿真實驗的結果表明，用這一方法製造出的碳納米管元件，與基於CMOS(互補式金屬氧化物半導體)的矽元件性能更為接近。
具體詳情，一起來看。
新的柵極電介質工藝
在進入正題之前，不妨先來了解一下柵極電介質。
這是位於柵極（gate）和電晶體溝道區域之間的一層絕緣層。
當電晶體在邏輯電路中充當開關時，柵極上的電壓會在溝道區域產生電場，從而切斷電流的流動，控制下方溝道的導通和關斷。
△CMOS截面圖，圖源：維基百科
最早，這一絕緣層由二氧化矽構成。但隨著矽電晶體尺寸的不斷縮小，絕緣層也不得不變得越來越薄，以便用更少的電壓來控制電流，降低能耗。
這時候，二氧化矽就不再適用了：絕緣層太薄，那麼由於量子力學的隧穿效應，實際上任何電荷都能穿透它，造成能量浪費。
於是，半導體領域的研究人員搬出了一種具有較高介電常數（即高k）的介質材料——二氧化鉿。介電常數高，也就意味著更厚的二氧化鉿層，就能實現更薄的二氧化矽層的性能。
碳納米管電晶體上同樣採用了二氧化鉿柵極電介質。但新的問題出現了：
沉積高k電介質的方法是原子層沉積。這一方法需要一個「起始點」，在矽中，就是表面自然形成的薄薄氧化層。
但碳納米管不會自然形成氧化層啊，這就導致它並不能為沉積提供「起始點」。
納米管的瑕疵倒是可以形成沉積點，但這又會限制其導電能力。
那麼，怎麼才能在不影響其性能的情況下，解決這個棘手的問題呢？
這時候，我們書歸正傳，來看看這項新研究提出的解決方案：
在碳納米管和二氧化鉿之間加入一個中間k介質。
△中間圓形為納米管，上部黑色為柵極
具體而言，根據臺積電Matthias Passtlack和加州大學聖地牙哥分校Andrew Kummel教授的研究，是將二氧化鉿和氧化鋁相結合。
其中，氧化鋁採用加州大學聖地牙哥分校發明的納米霧（nanofog）技術製備。氧化鋁會像水蒸氣凝結成霧一樣，凝結成簇，覆蓋在納米管表面。
以氧化鋁界面為基礎，二氧化鉿原子層沉積的過程就能展開了。
實驗結果
兩種電介質的綜合電特性，使得研究人員能夠在一個直徑只有15nm的柵極下，構造一個厚度小於4nm的柵極電介質裝置。
並且，根據這一方法製備的碳納米管元件，具備與基於CMOS的矽元件形似的開/關電流比特性。
仿真實驗的結果還表明，即使是柵極電介質更薄、尺寸更小的元件，也同樣work。
碳納米管取代矽，還有多遠？
當然，控制問題僅僅只是一方面。
想要讓碳納米管晶片真正具備與矽基晶片一戰的實力，還有許多亟待解決的挑戰。
比如如何製備超高半導體純度、順排、高密度、大面積均勻的碳納米管陣列。比如如何對碳納米管進行摻雜以增加柵極兩側的載流子數量……
不過近年以來，也不斷有好消息傳出。
北京大學彭練矛院士團隊，今年5月份就在Science上發文，發展了一套可以製備排列碳納米管的技術，排列密度達到每微米200-250根。
去年，MIT研究團隊發布全球首款碳納米管通用計算晶片，使用超過14000個電晶體，並且碳納米管產率為100%。也就是說，14000個電晶體每個都有效，沒有一個報廢。
黃漢森就表示：
我們正在一件一件地搬除障礙。
如果我們能把所有解決方案組合在一起，我們就能擊敗矽。
參考連結：
https://spectrum.ieee.org/nanoclast/semiconductors/devices/scaleddown-carbon-nanotube-transistors-inch-closer-to-silicon-abilities
— 完 —
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原標題：《向碳基晶片更進一步：臺積電、斯坦福等聯手開發碳納米管電晶體新工藝，性能逼近矽元件》
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...臺積電、斯坦福等聯手開發碳納米管電晶體新工藝,性能逼近矽元件
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碳納米電晶體材料新進展!臺積電史丹福大學等研發柵極電介質新工藝
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