DRC對V型Notch圖形如何檢查間距?

2020-12-14 藍海微創新

在普通的DRC間距檢查中,假設約束規則是最小寬度為0.6um,那麼,下圖距離為0.5,它是否報錯呢?

答案是:普通的DRC檢查是查不出上述錯誤的。

Vnotch_space {

EXT M1 < 0.6 ABUT < 90 SINGULAR REGION

}

上述檢查是最常用的間距檢查,注意其中有一個ABUT < 90的選項,它的含義是,當兩條相鄰邊的角度小於90度時報錯。但是,在本例中,V型Notch的豁口兩條邊的角度剛好是90度,它沒有違反規則。同時,雖然豁口的距離0.5微米小於指定的0.6微米的距離,但是由於這兩條邊是相鄰邊,按照DRC的語法定義,相鄰邊是不檢查距離的,因此這個0.5也沒有違反上述語句的約束,不會報錯。

那麼,該如何把上述錯誤報出來呢?寫法如下:

Vnotch_space {

EXT M1 < 0.6 ABUT < 90 SINGULAR REGION

Z = INT [M1] < 0.004INTERSECTING ONLY ABUT == 135

EXT Z < 0.594 PERP ONLYNOTCH ABUT == 90 region

}

上述命令中,INT [M1] < 0.004 INTERSECTING ONLY ABUT == 135 是什麼含義呢?

回想起我們前面文中多次提到的Xcal工具,當你不知道DRC Code是什麼含義時,記住,Xcal告訴你的圖形化含義。

點擊Z的按鈕,可以看到Z的圖形如下:

圖中的紅色線段就是Z的結果,它的含義是:把135度角的相鄰邊找到,相鄰邊的長度取0.004微米。

EXTZ < 0.594 PERP ONLY NOTCH ABUT == 90 region 的含義是什麼呢?我們繼續通過xcal工具分析其含義:

上圖中黃色報錯就是該語句的輸出,把其放大,如下:

可以看到,距離小於0.594的含義是:在豁口處如果距離小於0.6,則從豁口往下很小的距離,它到對面邊的距離也會小於0.594,該命令就是把小於0.594的一對邊報錯出來。

如果豁口處如果距離大於0.6,Z邊的長度只有0.004,從豁口往下很小的距離,它到對面邊的距離就會大於0.594,因此不會報錯。

那麼,如果構造test pattern圖形來驗證上述DRC Code是否準確呢?前文中我們多次提到,當你要檢查DRC Code是否準確時,scout工具就是很好的幫手。

在scout工具的Rule Editor中編輯如下命令:

關鍵字選取VnotchSpacing,則工具自動生成如下Pattern:

在good pattern中,豁口的距離剛好等於0.6微米,而在bad pattern中,豁口的距離剛好小於0.6微米。

Pattern構造好後,點擊Verify DRC,工具自動運行DRC工具,最後得出結論:Pass。

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