中微5nm刻蝕機獲認可,中國芯「彎道超車」?尹志堯博士一語中的

2020-12-19 科技耳目

從去年開始,中微5納米刻蝕機被臺積電認可,即將打入臺積電5納米晶片生產線的消息就傳出來了,而據最新消息,今年確實已經正式投入生產。對此消息,網上議論紛紛,其中有個論調是這樣說「中國晶片行業彎道超車」。

中微5納米刻蝕機研發成功的意義,是不是有那麼重大,是不是真的能讓中國晶片行業「彎道超車」呢?還是被誇大,言過其實呢?

中微的技術突破

據悉,近幾年來,我國的晶片製造設備 95%依賴於進口,核心設備基本上被國外公司壟斷,我們亟需國產設備製造企業,而中微可以說是當中的佼佼者。

2004年,尹志堯與杜志遊、倪圖強等40多位半導體設備博士、專家共同創辦了中微公司。近年來,中微向全球的微觀加工高端設備公司提供服務,在半導體市場獲得極高的評價,在多個技術領域躋身國際一流水平。例如: 在全球薄膜沉積設備供應商排名中榮登榜首;在刻蝕和清洗設備供應商排名中位列第二;在臺灣晶圓製造設備供應商排名中也僅次於荷蘭半導體設備巨頭ASML。

現在,中微自主研發的5納米等離子刻蝕機也被臺積電認可,投入生產線使用。

什麼是刻蝕機?

刻蝕機是晶片製造中的一種關鍵設備,用於晶片上微觀雕刻,每個線條和深孔的加工精度都是頭髮絲直徑的幾千分之一到上萬分之一,精度控制要求非常高。

這絕對是值得我們欣喜的事,但是這項技術的突破是不是能帶領我們晶片行業迅速發展,達到「彎道超車」的效果呢?我們確實需要冷靜思考一下。

刻蝕只是晶片製造的工序之一

IC業界電子工程師張光華:「一兩年前網上就有中微研製5納米刻蝕機的報導。如果能在臺積電應用,的確說明中微達到世界領先水平。但說中國晶片『彎道超車』就是誇大其詞了。」

他還表示,晶片製造的整個工序,都需要複雜的技術,而我國現在在大部分工序上都要落後於西方國家。為什麼這麼說呢?

據了解,晶片的整個製造流程極其複雜,包括切割晶圓、塗膜、光刻、刻蝕、摻雜、測試等等工序,刻蝕只是整個複雜工序中的一道工序。從技術層面上說,光刻機的研發才是最困那個,而刻蝕機的難度就相對低一些,現在的刻蝕機精密度水平已經遠超光刻機的精度水平,所以現在晶片最大的難題,不在刻蝕精度上,而在光刻精度上,換句話說,晶片製造的技術水平是由光刻機決定的。

而從工序設備佔所有製造設備投入比例來說,光刻機差不多佔所有製造設備投入的25%、刻蝕機佔所有製造設備投入的15%,也在一定程度上說明這兩種設備誰更複雜,誰更重要。

在這點上,就連中微本身,也沒有我們那麼樂觀。中微尹志堯博士就很抗拒『彎道超車』這樣的高帽子。尹志堯博士曾表示,「不要老把產業的發展提高到另一高度,更不要讓一些新聞人和媒體搞吸引眼球的不實報導。對我和中微的誇大宣傳搞得我們很被動……過一些時候,又改頭換面登出來,實在讓我們頭痛。」

所以,中微5納米刻蝕機打入臺積電生產線,是我國在晶片製造工藝中的重大突破,其意義重大,但「彎道超車」的言論,有些言過其實,言之過早了。

路很長,但我們會越來越快

當然,我們也不能太過妄自菲薄,長他人志氣,滅自己威風,我們的發展是切切實實的,我們的多項技術已經據世界前茅甚至首位,打破國外的壟斷地位和封鎖,也是不爭的事實。

就比如中微5納米刻蝕機,確實已經處於國際一流水平,並且打破了美德的壟斷,讓美國認識到中微在中國大陸可以做出在國際有同樣競爭力的刻蝕機,決定把刻蝕機從美國對中禁售的單子上去掉。

再比如華為的5G技術,是將引領通信行業發展,制定行業規則和標準的國際領先技術。等等……

所以,我們前面的路還很長,也許『彎道超車』的可能性低之又低,但我們會走得越來越穩、越來越快。今天能有了第一臺5納米刻蝕機製造者,明天就能有第一臺5納米光刻機,彼時,我們可以說「中國晶片生產技術終於突破歐美封鎖,第一次佔領世界制高點」。

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