創建於清代的五爺廟又稱五龍王殿，是整個五臺山佔地面積最小，但香火卻是最旺的一座寺廟。廟內供奉的五爺是廣濟龍王文殊菩薩的尊稱，也是信徒心目中有求必應的象徵，因此來此朝聖許願的人也特別多。
據說五爺嫌清代所建的廟宇又小又舊，於是便給隔壁塔院寺方丈託夢，要求：「重建殿宇，重鍍金身」。為了討好五爺，重建時在殿外加建了一個富麗堂煌的抱廈前庭，並鏤刻有精美卓絕的人物、動物等圖案。
在五爺廟許願，願望達成後要在一年內來還願，還願最主要的方式是掛牌匾，在主殿的牆壁上隨處可見「有求必應」、「敬五爺」等字樣的牌匾，數量已多到無處安放，需要經常替換。這些牌匾也是對五爺「靈驗」的一種肯定。
據說五爺曾經顯靈救過康熙，被康熙封為龍王菩薩，並隨賜半副鑾駕15件以顯威嚴。在古代禮儀制度中，鑾駕是儀仗器物的最高稱謂，只有皇帝外出時才由眾儀衛各執一件，而在寺廟裡擺放鑾駕，在全國也絕無僅有。
端坐在大殿中的五爺在燭光中閃爍著金色的光輝。五爺是廣濟龍王文殊菩薩的尊稱，原本為黑臉，相傳五臺山五頂文殊菩薩為了廣濟眾生，化身成為了五龍王，龍王的黑臉也變成了金臉。
因為五爺喜歡看戲，人們又在龍王殿對面修建了一座戲臺專門用來給五爺唱戲，這也是五臺山唯一一座像樣的古戲臺。每年六月廟會期間，許多名角會前來唱戲取悅五爺，使他能及時賜雨，一些有條件的施主也會捐一臺戲來還願。
五爺廟香火極盛，每天都有數以萬計的信眾從各地前來祈福，甚至連磕頭也需排隊等候。據說早晨4點到7點前空腹進香許願最為靈驗，每次最多可許三個願望，願望達成後需在一年內來還願。
正確的許願方式是：正對著大殿點燃香燭，在心中將願望默念一遍，然後拜上三拜，接下來朝東西南北四個方向朝拜，最後到五爺像前叩拜許願。據當地人說每逢農曆初一、十五進香最為靈驗。