原標題：超低溫溫控設備年內推向應用
集成電路是全球信息產業的基礎與核心，隨著集成電路工藝級別不斷提高，對生產環境溫度控制要求也越來越高。近日，記者在區內企業北京京儀自動化裝備技術有限公司(以下簡稱「京儀裝備」)了解到，其研發的-70攝氏度溫控設備可滿足7納米以下集成電路生產環境溫度，將於年內推向應用。
集成電路生產線專用溫控技術需要攻克「精度」「速度」和「可靠性」等難點。其中控制溫度精度要達到誤差±0.1，集成電路生產設備一般是7×24小時運轉、365天持續生產，溫控設備需要持續運轉保障控制溫度，對可靠性要求較高。也因此，此前國內集成電路行業溫控設備主要依賴進口。
隨著經開區集成電路產業生態持續優化，不斷吸引行業企業在區內創立發展。2016年京儀裝備團隊受經開區在集成電路產業發展支持力度及國內領先的產業生態環境吸引，創立了北京京儀自動化裝備技術有限公司，研發溫控設備、廢氣處理設備、自動化生產設備等集成電路生產附屬設備，向區內中芯國際、北方華創、燕東等集成電路企業供應，同時向國內知名集成電路企業供應。幾年來，京儀裝備以每年申請50多項專利的創新速度及技術儲備，研發的「半導體生產線專用溫控裝備」，改變了被動局面，填補國內集成電路溫控技術的空白。
為了滿足集成電路企業研發產業化更先進工藝的集成電路產品的溫控需求，京儀裝備研發出了-70攝氏度的超低溫溫控設備。京儀裝備相關負責人說，隨著國內集成電路企業不斷取得新突破，先進工藝製程對超低溫溫控設備需求量會逐漸增長，京儀裝備研發的-70攝氏度溫控設備將於近期推向應用。
據介紹，京儀裝備開發的集成電路專用溫控設備，近幾年來在12英寸集成電路生產線上的新增市場覆蓋率高達80%。未來將跟隨行業變化進行不斷創新溫控設備及技術，為集成電路產品研發及產業化鋪路。也正是依託經開區的產業環境及企業技術儲備，創新開發了多種集成電路領域配套設備，推向行業中廣泛應用。京儀裝備制定了推進產值每年增長20%的目標，今年雖然發生了疫情，但京儀裝備產值依然大幅增長，上半年產值同比去年增長了50%。
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