泛林:業績不斷創新高,傾力中國半導體製造

　　近日，晶圓設備製造商泛林(Lam Research)集團在京舉辦了媒體交流會，公司副總裁兼中國區總經理劉二壯博士和中國區首席技術官周梅生博士介紹了公司的業績和當前半導體製程的趨勢等。

本文引用地址：http://www.eepw.com.cn/article/201708/363084.htm

　　照片：泛林副總裁兼中國區總經理劉二壯博士(右)和中國區首席技術官周梅生博士

　　業績亮麗

　　據Gartner公司2017年4月數據，Lam Research公司是世界第二大半導體設備製造商。根據泛林的數據，2016年財年營收64億美元(截至2016年6月)，今年財年預計80億美元(截止2017年6月)。2017日曆年預計營收會接近100億美元。

　　實際上，整個半導體設備市場是400億美元。公司研發投入10億美元/年，與同行的投入百分比持平。公司毛利46.5%，在設備業處於平均值。設備發貨最大的是韓國(得益於存儲器大廠三星與海力士等)、日本(東芝等)、中國大陸佔16%份額(註：比業內平均佔比15%略高一點)，臺灣佔14%。公司取得佳績的原因是由於研發投入大，技術先進。

　　未來開拓中國市場，泛林去年在中國新開了6個辦公室，員工增加了45%。

　　製程已到原子級，難關不斷被攻克

　　集成電路的形成，其中牽涉到非常複雜的工業流程。大致分成四個模塊。首先是隔離/沉積(deposition)，就好像在一個平地上要造房子，需要先規劃好哪些部分是要隔離的，哪些是要有接觸的。第二個模塊是蝕刻與剝離(etch&strip)就會講到電晶體的形成，當一個個電晶體形成以後，需要有接觸孔和金屬的互聯。之後是清洗，還有客戶支持。

　　這中間其實牽涉到上千步的過程。例如在65納米製程，大約有900步過程，到了FinFET，就有1500步以上的流程。這上千步的過程，我們把其歸類成了幾大部分工序，諸如光刻、薄膜沉積、蝕刻、光阻去除/剝離、清洗、離子注入、熱過程，當然還有檢測和檢驗的設備。在這麼多的工藝模塊中，泛林半導體比較集中在薄膜沉積、蝕刻、光阻去除和清洗方面。

　　薄膜沉積的難點是到原子級。等離子刻蝕分為導體和絕緣體刻蝕兩類，關鍵是均勻性，需要採用腔體技術，像打井，不僅是常規的豎井，現在豎井下還有橫井，且要打得非常均勻，因為厚度已經到了原子層級，不允許有任何差錯。

　　今天來看，世界最領先的廠家已經開始採用10納米製程，7納米、5納米也都基本上定義好了。至此有兩大方面的挑戰，一是能力與技術方面，另外是成本。所以現在大家都在腦洞大開，不斷超越，把摩爾定律不停地往前推進。

　　實際上，大家充滿信心，因為以前認為65納米製程已經很難走下去了，現在可以把65納米推進到45納米，再到28納米，通過新材料的引進和新結構的引進，掙脫了每一個技術的阻礙，繼續往前推進。

　　泛林從蝕刻起家，深寬比已到極限，現在刻蝕不僅是技術，也是藝術。EUV(極深紫外)光刻機當初曾預期在16/14納米時實現)，但目前看來技術還不成熟，且價格高昂(約1億歐元)，因此人們不再採用曝光刻蝕的傳統方法，而是通過多重成像(multi-patterning)，以精細的原子層面的薄膜沉積加上刻蝕來完成。即用沉積+刻蝕(多重成像)代替光學(EUV)手段。

　　泛林與中國有著淵源。Lam是「林」姓的英文，是越南華裔David Lam先生在1980年於美國成立的，1990年公司上市，他基本把股票出清，離開了公司。林先生目前仍然在矽谷很活躍，是很知名的投資人。在林先生離開後，公司就轉變成職業經理人管理和傳統上市公司的架構。

　　泛林對中國非常友好。當前美國對華半導體製程設備出口有爭議，但泛林仍然一如既往地重視中國市場。例如2016年SEMICON上海，半導體製程大佬曾高朋滿座，去年美國發出中國威脅質疑後，今年SEMICON上海上，泛林的CEO仍然到場。因為泛林的價值觀是：custom trust。

　　談到很多公司為了表示對中國示好，會在中國投資建廠，泛林有何計劃時。劉二壯博士認為，關注中國，不一定在中國建廠，而是能真正地幫到客戶，為客戶帶來長期的價值。實際上，發展中國半導體業，錢最不是問題，目前最缺的是人才。中國目前半導體人才有30萬，2020年將需要70萬人，有巨大的缺口。泛林的優勢是能帶來全球資源，在中國需要大規模快速發展行業的當下，我們有能力調動全球的人力資源、技術資源，集中到中國來。

　　另外，除了「貼近客戶」，泛林和國內的大學與政府機構之間還進行了密切合作。泛林已和國內的五所大學有合作關係，比如獎學金項目、合作研發項目，主要目的在於激發在校學生的興趣，從而為半導體行業培養更多人才。此外，泛林和中國半導體設備材料產業協會、集成電路協會、封裝協會等行業機構都有很密切的合作關係。

　　小結

　　總之，泛林不斷投入研發，為半導體行業帶來先進的技術，同時泛林鼓勵新鮮人才加入進來，為行業發展注入持久活力。