預見2020:2020年中國CVD設備產業全景圖(附產業政策、技術工藝...

2020-11-30 前瞻經濟學人

產業鏈——集成電路關鍵製造設備之一

CVD(化學氣相沉積)是指化學氣體或蒸汽在基質表面反應合成塗層或納米材料的方法,是工業中應用最為廣泛的用來沉積多種材料的技術,包括大範圍的絕緣材料,大多數金屬材料和金屬合金材料。其一般應用於集成電路製造、粉末合成、金屬精緻等。

CVD設備則是CVD應用的載體,是實現CVD的必要條件。

產業政策——對於CVD設備重視程度較高

從政策環境上來看,我國對於CVD設備較為重視,其主要體現在相關政策對於發展半導體設備的支持。如《「十三五」國家科技創新規劃》中,薄膜設備(PVD設備、CVD設備等)被列為國家需要攻克的高端製造裝備;《中國製造2025》中也提到,要形成集成電路關鍵製造設備的供貨能力。

技術工藝——工藝不斷發展變遷

近年來,CVD工藝不斷發展,形成了較為固定的工藝流程,同時也根據不同的應用演化出了APCVD、LPCVD、PECVD等不同的CVD技術。一般來說,不同的CVD技術需要不同的CVD設備來承載,一定程度上也促進了CVD設備製造工藝的發展。

競爭格局——CR3達到70%

全球CVD設備市場的主要企業有應用材料、泛林半導體和TEL這三家,據Gartner披露,這三家企業合計佔據了全球近70%的市場份額。其中,應用材料所佔市場份額為30%;泛林半導體和TEL各自佔據21%和19%。

細分格局——PECVD仍為主流

目前全球主流的CVD設備仍為PECVD、APCVD和LPCVD,據Gartner數據披露,這三類CVD設備合計市場份額約佔總市場份額的70%;其中PECVD的市場份額約為35%。

國產化分析——相關技術仍需進步

我國CVD設備的國產化率近年來雖然在不斷增長,但整體來看仍然較低。從長江儲存2017年至2020年2月CVD設備累計招標採購份額來看,僅有3%的CVD設備來自於我國國產企業(瀋陽荊拓),由此可見,我國CVD設備競爭力與海外知名企業相比仍具有一定的差距。

目前我國CVD設備的主要生產企業包括北方華創和瀋陽荊拓,這兩家企業近年來發展勢頭較好,CVD設備相關技術也正在加緊研發中,未來或將成為我國CVD設備國產化率大幅提升的主要動力源。

以上數據來源於前瞻產業研究院《中國半導體產業戰略規劃和企業戰略諮詢報告》,同時前瞻產業研究院提供產業大數據、產業規劃、產業申報、產業園區規劃、產業招商引資等解決方案。

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