-
memsstar談MEMS刻蝕與沉積工藝的挑戰
另一方面,MEMS是採用體矽加工工藝嵌入到矽中,或通過表面微加工技術在矽的頂部形成。 體矽MEMS的深反應離子刻蝕(DRIE)也稱為Bosch工藝(因為該工藝在20世紀90年代由Bosch開發),是專為MEMS設計的一種最老的工藝解決方案。雖然它不是標準的半導體工藝,但現在已應用於三維裸片堆疊中,通過矽通孔(TSV)技術進行蝕刻。
-
半導體mems企業有哪些_國內十大半導體mems企業排行榜
國內十大半導體mems企業排行榜——歌爾聲學股份有限公司 歌爾聲學股份有限公司成立於2001年,屬於省級高新技術企業,與中科院聲學所、北京郵電大學等國內外多家知名高校和科研機構建立了長期的戰略合作夥伴關係,致力於電聲領域前沿技術的基礎研究和新技術、新產品的開發。
-
全矽MEMS振蕩器和傳統石英的區別
在過去60年中,石英作為時鐘市場的主流技術,一直佔據著霸主地位。但由於其受到傳統製造工藝的限制以及下遊原材料(起振電路和基座)市場的壟斷,因此性價比無法進一步提升。為了滿足電子市場對元器件提出的更小、更可靠、更靈活的需求,時鐘組件必須走上全面矽化的道路。這篇文章將主要介紹全矽MEMS振蕩器和傳統石英的區別,以及全矽IC技術所解決的問題。
-
MEMS諧振器的發展史 Si50x CMEMS振蕩器概述
可是過去幾年來,效仿擁有兩個元件(諧振器和放大器)架構的晶體振蕩器的微機電系統(MEMS)振蕩器已打入了頻率控制市場。這些MEMS振蕩器具有絕佳的可靠性,並且可提供具有成本優勢的各種封裝尺寸,尤其是在晶體振蕩器上屬於高成本結構的小巧型封裝。
-
MEMS振蕩器適用於高可靠性關鍵型應用
MEMS振蕩器在航空航天和國防應用的堅固性能方面樹立了新的標杆。 SiTime的革命性技術使振蕩器堅固耐用,在氣流,溫度擾動,機械衝擊,振動,電源噪聲和電磁幹擾(EMI)等惡劣環境條件下運行時,可提供最穩定的定時。
-
研究人員製備成功RF MEMS振蕩器—新聞—科學網
中國科學院半導體研究所半導體集成技術工程研究中心,在自然科學基金、中科院項目的支持下,經過努力探索,製備成功RF MEMS振蕩器。 基於微納諧振器的MEMS振蕩器,具有高頻、高品質因子(>103),可與IC電路在同一晶片集成,實現系統小型化,在軍民兩用高技術領域具有非常廣泛的應用。
-
memsstar 推出新一代微機電系統 (MEMS) 蝕刻與沉積設備
為眾多半導體與微機電系統 (MEMS) 廠商提供所需的解決方案,蝕刻與沉積設備及技術的領先供應商,memsstar Limited今日推出用於生產微機電系統 (MEMS)的蝕刻與沉積工藝工具 ORBIS™ 平臺。
-
MEMS加速度計國產化加劇,智騰微電子率先發力
隨著國內電子技術發展的成熟,大部分電子元器件製造商開始大力發展技術創新能力,提高自身技術競爭能力,期望於未來在全球市場大放光彩,同時改善國內傳感器全部靠進口的魔咒。智騰微電子憑藉多年在高端傳感器製造業的經驗,投入大部分精力財力發展國產化mems加速度計製造,填補國內mems加速度計產業不足的空白。
-
mems器件,我國唯一與國外差距較小的晶片領域
其主要產品有MEMS麥克風,微馬達,mems光學傳感器,MEMS壓力傳感器、MEMS陀螺儀等。現在在電子產品,醫學,汽車和航天領域擁有廣泛的應用。像現在手機中就有數量不等的mems傳感器,iphone4擁有4個mems傳感器,三星note系列旗艦則擁有8個傳感器。像手機的麥克風,攝像頭,加速度計等產品,現在都使用的是mems產品。
-
mems傳感器現狀_mems傳感器製作工藝
打開APP mems傳感器現狀_mems傳感器製作工藝 網絡整理 發表於 2019-12-25 10:03:09 mems傳感器研究現狀 1、微機械壓力傳感器 微機械壓力傳感器是最早開始研製的微機械產品,也是微機械技術中最成熟、最早開始產業化的產品。
-
釋放MEMS機械結構的幹法刻蝕技術
溼法刻蝕是MEMS 器件去除犧牲材料的傳統工藝,總部位於蘇格蘭的Point 35 Microstructures在SEMICON China期間推出了幹法刻蝕模塊與氧化物釋放技術
-
mems傳感器有啥優點
打開APP mems傳感器有啥優點 網絡整理 發表於 2019-12-25 10:21:25 mems傳感器有啥優點 MEMS是指可批量製作的,將微型機構、微型傳感器、微型執行器以及信號處理和控制電路、直至接口、通信和電源等集成於一塊或多塊晶片上的微型器件或系統。
-
CMOS+MEMS融合技術重新定義傳統頻率控制市場
各種電子系統中最基本的組件是由石英晶體振蕩器提供的定時參考。雖然首顆晶體振蕩器誕生已經近百年,但在過去的幾十年中除了晶體材料的加工工藝有所提升,以及振蕩器電路技術有所發展之外,基本設計原理沒有多大改變。直到最近,也沒有幾個石英振蕩器的替代產品出現,究其原因在於石英諧振器極佳的穩定性和高Q值特性簡化了構建已知特性振蕩器的過程。
-
mems加速度計的性能解答(六)
打開APP mems加速度計的性能解答(六) 發表於 2020-04-16 16:31:19 mems加速度計的性能解答 線性度 線性度主要是為了使加速度計有較好的線性輸出,即MEMS晶片輸出的電壓值(模擬或數字)與晶片受到的加速度值成正比。
-
多諧振蕩器的研究與仿真
Multisim軟體是一種形象化的虛擬儀器電路仿真軟體,它能比較快速地模擬、分析、驗證所設計電路的性能,在課堂教學中引入EDA技術,使傳統教學環節與先進的仿真技術相結合,實現授課的生動性和靈活性,增強學生對基本概念的理解,激發學生的學習興趣,培養並有效提高學生綜合分析、應用及創新能力。
-
多諧振蕩器,多諧振蕩器的作用
定義多諧振蕩器是一種自激振蕩器電路,該電路在接通電源後無需外接觸發信號就能產生一定頻率和幅值的矩形脈衝或方波。由於矩形脈衝中含有豐富的高次諧波,故稱為多諧振蕩器。另外多諧振蕩器在工作過程中不存在穩定狀態,故又稱為無穩態電路。
-
LC正弦波振蕩器電路設計圖
打開APP LC正弦波振蕩器電路設計圖 秩名 發表於 2014-09-12 14:03:05 電子線路中,除了要有對各種電信號進行放大的電子線路外
-
淺析pMEMS振蕩器用於工業頻率控制的設計
隨著提高可靠性和性能的壓力持續增大、對更小尺寸和更低功耗的要求以及邏輯電路速度的提高,這一切都促使定時專家開發新的材料和技術。 壓電MEMS(pMEMS)諧振器和振蕩器是新一代基於晶片的頻率控制器件中的兩種器件,這類基於矽技術的新一代器件有很多優勢,例如具備半導體級的抗衝擊和抗震動性能。此外,半導體的特徵尺寸允許在單個晶片上同時製造大量器件,從而可實現規模經濟。
-
MEMS加速度計中的重要的核心是什麼
MEMS加速度計中的重要的核心是什麼 智騰恆星體 發表於 2020-06-08 15:19:39 MEMS加速度計中的核心簡介 隨著矽微機械加工技術
-
時鐘晶體振蕩器作用是什麼 時鐘晶體振蕩器種類
X1 振蕩器 X1 振蕩器採用晶體振蕩器或陶瓷振蕩器(2 ~ 10MHz),連接到X1 和X2 引腳。 同樣可以輸入外部時鐘。EXCLK 引腳輸入時鐘信號。 圖5-10 為X1 振蕩器的外部電路示例。XT1 振蕩器 XT1 振蕩器採用晶體振蕩器(標準值為:32.768 kHz),連接到XT1 和XT2 引腳。 圖5-11 為XT1 振蕩器的外部電路示例。