點缺陷：指在三維方向上的尺寸都很小，約一個或原子間距的缺陷。如空位、間隙原子、置換原子等。
點缺陷的形成：
（1)空位
構成晶體的所有原子總是以其平衡位置為中心進行熱振動。空位是指由於能量起伏，總有一些原子的能量大到足以克服周圍原子對它的束縛，就有可能遷移到別處，在原來的平衡位置上出現的空結點。根據離位原子的去向，可分為肖脫基空位和弗蘭克空位。
①如果離位原子遷移到外表面或內界面（如晶界等）處，這種空位稱為肖脫基空位。
②如果離位原子遷移到晶體點陣的間隙中，則稱為弗蘭克爾空位。形成弗蘭克爾空位的同時將形成等量的間隙原子。
（2）間隙原子
間隙原子是指由於晶體本身固有的同類原子，稱為自間隙原子，或外來的異類間隙原子遷移到晶體內部間隙位置而形成的點缺陷。點缺陷的平衡濃度：
①點缺陷是熱力學穩定的缺陷，指在一定溫度下，晶體中存在一定平衡數量的點缺陷(空位、間隙原子等）。
②空位的平衡濃度是指在一定溫度下，晶體處於平衡狀態時空位數和構成晶體的原子總數之比。
點缺陷的運動與作用：
①點缺陷的運動
點缺陷的運動實際上是原子遷移的結果，而這種點缺陷的運動所造成的原子遷移正是擴散現象的基礎。②點缺陷的作用
點缺陷的作用有能使金屬的電阻增加，體積膨脹，密度減小。。同時能加速與擴散有關的相變、化學熱處理及高溫下的塑性變形和斷裂等。過飽和點缺陷：
過飽和點缺陷是指某些特殊情況下，晶體具有超過平衡濃度的點缺陷。過飽和點缺陷是非平衡點缺陷，是不穩定的，在加熱過程中它們將通過運動而消失，最後又趨於平衡濃度。