灰塵傳感器可實時監測集成電路生產過程中接觸到的汙染物

2020-11-29 電子發燒友

灰塵傳感器可實時監測集成電路生產過程中接觸到的汙染物

luftmy勒夫邁 發表於 2020-11-25 16:36:35

隨著科學技術的發展，許多工業產品的生產加工對生產環境的無塵車間工程中含塵濃度提出高的要求，這就需要其生產環境中具有一定的空氣潔淨等級和控制生產過程所需各類相關物質的供應質量。例如，在膠片生產中，膠片若受到了塵埃的汙染，將會發生乳劑氧化，活性減弱，pH值變化等，從而影響膠片的感光性能。下面帶大家了解一下灰塵傳感器用於半導體集成電路生產潔淨室中的解決方案。

集成電路製造業是一個在超淨化環境中，使用超純材料進行超微細加工的產業，半導體材料提純作為發展半導體器件的重要基礎。由於大規模和超大規模集成電路的工藝要求，為得到高純度的矽材料，原料和中間媒介的高純度和高精度恆溫恆溼工程生產環境的潔淨度成為影響產品質量的一個突出問題。

集成電路晶片的成品率與晶片的缺陷密度有關，而晶片的缺陷密度與空氣中粒子個數有關。因此，集成電路的高速發展，不僅對空氣中控制粒子的尺寸有高的要求，而且也需進一步控制粒子數；同時，對於超大規模集成電路生產環境中無塵車間工程的化學汙染控制也有相關的要求。

集成電路生產過程中可能接觸到的主要汙染物

集成電路生產中可能接觸到的主要汙染有：微粒雜質、無機離子、有機物質、微生物以及氣體雜質等。從廣義上說，不適宜的溫度、溼度、照度、超過限度的靜電、電磁噪聲、空氣噪聲以及微振動等，也是特殊的汙染物。其中，微粒雜質、無機離子、有機物質、微生物以及氣體雜質的數量超過一定限度時，就會是集成電路產品發生表面擦傷、圖形斷線、短路、針孔、剝離等現象，導致電路漏電、電特性異常。輕者影響電路性能和使用壽命，嚴重時可導致電路報廢。

鑑於這種情況，就需要使用灰塵傳感器來對半導體集成電路生產車間的環境進行監測，保證產品生產環境達到潔淨標準。勒夫邁推薦使用LD13C雷射灰塵傳感器可以感知菸草產生的煙氣和花粉，房屋粉塵等。

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