TFT-LCD 有機廢氣治理——尾氣處理設備

2021-02-14 氣體應用資訊

TFT-LCD，即薄膜電晶體（Thin Film Transistor,TFT）。TFT-LCD 的製造生產工藝工序繁多，包括檢查和測試在內可達到100 多道工序，生產過程中使用多種化學有機溶劑和特殊氣體，會產生大量的有機廢氣（VOCs ），組分複雜。如果不經尾氣處理設備直接排空，將對環境造成汙染。

TFT-LCD有機廢氣來源：

TFT 液晶面板生產排放VOCs 汙染物的工序主要集中在陣列工程和彩膜工程兩大部分。陣列工程中的光刻（塗膠、曝光和顯影），以及彩膜工程中的黑色矩陣BM 膜製造、彩色矩陣膜形成（紅、綠、藍，RGB）、保護膜生成、MVA 膜、PS（PHoto Spacer）膜生成是產生VOCs 的主要工藝。

同時，在成盒工程中清洗工序使用的有機溶劑揮發也會產生少量的VOCs。TFT-LCD 的製造過程中產生的VOCs 主要是以異丙醇為主，其次依序是丙酮、單甲基醚丙二醇、單甲基醚丙二醇乙酸酯，這四種成分佔了全部VOCs量的90%以上。

尾氣處理設備：


尾氣處理設備，主要是指運用不同工藝技術，通過回收或去除、減少排放尾氣的有害成分，達到保護環境、淨化空氣及保護周邊人員身體健康的一種環保設備。

目前，針對TFT-LCD有機廢氣的尾氣處理，一般採用吸附、焚燒或兩者相結合的處理方法。有機溶劑廢氣先由吸附式尾氣處理設備（Local Scrubber）進行吸附處理，再進入中央處理系統（central scrubber）進行二次處理後排入大氣。

吸附式尾氣處理設備（Local Scrubber）是利用多孔性固體吸附劑處理混合氣體，使其中所含的一種或多種組分吸附於固體表面上，達到分離的目的。其中吸附劑選擇性高，能分開其他過程難以分開的混合物，有效地清除（或回收）濃度很低的有害物質，淨化效率高，設備簡單，操作方便，且能實現自動控制。

以上，就是關於TFT-LCD製造生產工藝中有機溶劑（VOCs）尾氣的來源種類和尾氣處理設備的簡單介紹，感謝您的閱讀！

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