半導體行業作為高新技術產業，往往被人誤解為「清潔」產業，但事實上，半導體生產過程中使用了大量有機物和無機物，包括許多有毒有害物質，對環境危害較為嚴重，如不通過尾氣處理設備對廢氣尾氣加以控制，將會產生較大的環境汙染。
半導體製程工藝 VOCs廢氣處理半導體產業中的有機廢氣主要來源於清洗、均膠、去膠、刻蝕、顯影工序，其中使用的清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑中含有大量有機物成分，主要成分為異丙醇、光刻膠等有機物，在工藝過程中，這些有機溶劑大部分通過揮發成為廢氣排放。
揮發性有機氣體（Volatile Organic Compound）,簡稱VOCs，由於VOCs具有滲透、脂溶及揮發等作用，對人體直接的影響很大，人體與VOCs接觸或經呼吸進入人體，可能對人體之呼吸道、肺、神經系統、腎等造成危害，所以須加以處理後方可直接排放到大氣中。
WFS-100A吸附式半導體VOCs尾氣處理設備目前，針對這種氣體排放，一般採用吸附、焚燒或兩者相結合的處理方法。有機溶劑廢氣先由吸附式尾氣處理設備Local Scrubber進行吸附處理，再進入中央處理系統central scrubber進行二次處理後排入大氣。
吸附是利用多孔性固體吸附劑處理混合氣體，使其中所含的一種或多種組分吸附於固體表面上，達到分離的目的。吸附劑選擇性高，能分開其他過程難以分開的混合物，有效地清除（或回收）濃度很低的有害物質，淨化效率高，設備簡單，操作方便，且能實現自動控制。
WFS-100A吸附式尾氣處理設備可處理氣體以上，就是關於半導體工藝中有機溶劑（VOCs）尾氣和尾氣處理設備 Local Scrubber 的簡單介紹，感謝您的閱讀！