世上最貴的精密儀器ASML EUV無塵車間,難得一見!

2020-11-26 騰訊網

寫在前面

我們曾多次介紹過的荷蘭光刻機巨頭ASML(阿斯麥),一臺設備賣上億,全球半導體廠商看其臉色!

光刻大佬一聲吼,全球半導體抖三抖。荷蘭ASML公司擁有世界上最好的晶片製造的核心設備--EUV極紫外光刻。用於生產晶片的光刻機是中國在半導體設備製造上最大的短板,國內晶圓廠所需的高端光刻機完全依賴進口。

阿斯麥是歐洲人均科研經費排名第二的高科技公司。高端光刻機市場ASML目前沒有其他對手,最先進的 EUV 光刻機全球僅僅 ASML 能夠生產,門檻極高,一臺設備售價高達1億美元以上,年出貨量很有限,2018年在20臺左右。

今天,我們將來到ASML荷蘭費爾德霍芬(Veldhoven)總部,走進EUV光刻機無塵車間,感受世界上最精密昂貴的晶片加工設備的生產環境有多麼的嚴苛!

火速點擊下方視頻

EUV無塵車間高級經理

將為我們介紹其中的部分環節

(由e-works翻譯整理製作)

從視頻中,我們看到了一些關鍵信息:

車間入場需全副「武裝」:整套入場服包含:頭罩、無塵服、襪子、鞋子、口罩以及手套。

人是無塵車間最大的汙染源,每天代謝脫落10億個皮膚微粒,都會對機器產生影響,必須穿入場服隔離。

無塵車間內的空氣要比外面乾淨10000倍。

完全裝配好的EUV光刻機重量可達100噸。(恐怖)

無塵車間裡面的溫度保持恆溫21度。

除了荷蘭費爾德霍芬,ASML還在美國、臺灣、韓國擁有無塵車間。

費爾德霍芬所有無塵車間的面積已超過5萬平米。

運送一臺ASML EUV光刻機需要六架飛機。

下面還有一段視頻資料

供大家參考

光刻機這種高精度光機一體化設備,研發過程沒有捷徑可走的,精度只能一步步提升。而ASML獨特的商業模式也難以複製,不知大家觀賞完了阿斯麥的無塵車間,有何感想?文末留言區,寫下您的觀點。

來源:工業4點0

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