掃描電鏡原理

2020-11-24 電子產品世界

　　導讀：本文主要講述的是掃描電鏡的原理，感興趣的童鞋們快來學習一下吧~~~很漲姿勢的哦~~~

本文引用地址：http://www.eepw.com.cn/article/278782.htm

　　掃描電鏡是一種新型的電子光學儀器，主要是利用二次電子信號成像來觀察樣品的表面形態，即用極狹窄的電子束去掃描樣品，通過電子束與樣品的相互作用產生各種效應，其中主要是樣品的二次電子發射。二次電子能夠產生樣品表面放大的形貌像，這個像是在樣品被掃描時按時序建立起來的，即使用逐點成像的方法獲得放大像。

　　掃描電鏡主要有真空系統，電子束系統以及成像系統。

　　1、真空系統：主要包括真空泵和真空柱兩部分，真空柱是一個密封的柱形容器。

　　2、電子束系統：由電子槍和電磁透鏡兩部分組成，主要用於產生一束能量分布極窄的、電子能量確定的電子束用以掃描成象。

　　3、成像系統：電子經過一系列電磁透鏡成束後，打到樣品上與樣品相互作用，會產生次級電子、背散射電子、歐革電子以及X射線等一系列信號。

　　掃面電鏡的工作原理是用一束極細的電子束掃描樣品，在樣品表面激發出次級電子，次級電子的多少與電子束入射角有關，也就是說與樣品的表面結構有關，次級電子由探測體收集，並在那裡被閃爍器轉變為光信號，再經光電倍增管和放大器轉變為電信號來控制螢光屏上電子束的強度，顯示出與電子束同步的掃描圖像。圖像為立體形象，反映了標本的表面結構。為了使標本表面發射出次級電子，標本在固定、脫水後，要噴塗上一層重金屬微粒，重金屬在電子束的轟擊下發出次級電子信號。

　　拓展閱讀:

　　1.掃描電子顯微鏡原理

　　2.電子顯微鏡原理

　　3.掃描電子顯微鏡的特點及工作原理

　　

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