KLA Instruments | Webinar課程:Zeta三維光學輪廓儀應用:自動缺陷檢測、分類和三維分析

2021-02-25 KLA Corporation


本次網絡研討會將討論使用Zeta三維光學輪廓儀對缺陷進行檢測、分類和三維分析。Zeta三維光學輪廓儀具有ZDotTM點陣專利技術和靈活的多模組光學器件。能夠對各種樣品如透明或不透明、低到高表面反射率和平滑到粗糙表面進行測量。可用於測量3D表面形貌連同真彩色成像，臺階高度，粗糙度薄膜厚度、樣品表面的自動缺陷檢查和缺陷分析。Zeta系列包括桌面型和全自動型，以滿足研發和工廠自動化生產的要求。

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