KLA Instruments | Webinar課程:波長選擇,膜厚範圍,擬合度

2020-11-27 儀器信息網


課程推薦

KLA Instruments | Webinar課程：光學膜厚測量儀波長選擇，膜厚範圍，擬合度。

※適合新老客戶了解學習膜厚儀的使用；加深對產品的理解。


在嘗試去測量幾埃到幾毫米厚的薄膜前讓我們首先來考慮一下光源，光譜儀解析度，光斑大小，以及光學系統鏡口率之間的相互作用。這堂課裡我們先假設薄膜的折射率是確定好的。在結束之前一定要記得讓我們回答這個非常搶手的問題：「我的擬合度要好到什麼程度才算好？」


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    CharlesChen是KLA公司光學及探針輪廓儀產品和KLA子公司Filmetrics薄膜測量產品的業務開發經理。他2004年以資深項目經理身份加盟Filmetrics。在此之前的十年裡他分別在SpeedFAM-IPEC 和KLA-Tencor 參與並領導半導體化學機械研磨製程中在線製程控制技術開發。Charles在俄亥俄州立大學獲得科學碩士和哲學博士。


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