Y5T181 電子束蒸鍍--光晶片電極製作

2021-02-23 光通信女人

光晶片的電極製作，經常用到一個設備，叫電子束蒸發

電子束蒸發，是一種物理氣相沉積技術，可以得到高精度高純度的金屬膜

沉積，是指懸浮顆粒逐步沉降的過程。金屬顆粒，一步步沉積在材料表面，形成金屬膜，用來做電通道接觸，俗稱金屬電極

沉積，有固相沉積，比如咱們能看到的沉積巖，一層層的固體顆粒在重力作用下沉降，日久天長形成的一層層巖石。

液相沉積，是以液體的形式在材料表面附著後再固化，形成的薄膜

氣相沉積，是金屬氣化後，沉積到材料表面，固化，形成薄膜。

氣相沉積的最大特點，是均勻。

氣相沉積，是咱們光晶片、電晶片各道工序常用的的一種技術類別。

能產生化學反應的氣體，叫化學氣相沉積，咱們做雷射器外延生長的MOCVD就是一種化學氣相沉積技術，幾種氣體產生反應，生產化合物

電子束蒸鍍，是一種物理氣相沉積技術，不產生化學反應，只把金屬材料氣化。

產生電子束，不是難題，高壓槍給電子加速

電子束，一般分為環形槍，直型槍和e型槍，e型槍是一種常用的方法，摒棄了前兩種電子槍的缺點。只是有些貴

所謂的e型，就是用磁環來控制電子束的方向，讓它們做270度左右的拐彎。拐的彎像字母「e」

改變電子束方向，是為了讓電子束精準的落在咱們的金屬材料上。

電子束的動能，在與金屬接觸的局部地區，轉化為熱能，可以產生三千攝氏度以上的高溫，高溫使得金屬材料熔化請氣化，氣相沉積唄，首先得有產生氣體材料。

用電子蒸鍍，就是一般的蒸發設備很難產生這麼高的局部溫度，要麼是像鋼廠一樣是大面積熔化金屬，這太浪費，要麼就是單點產生不了超高溫，沒有金屬氣化物。

在咱們需要做電極的材料上，氣相離子，透過擋板，一層層沉積

小結：

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