電子束曝光原理_電子束曝光結構

2020-11-28 電子發燒友

電子束曝光原理_電子束曝光結構

網絡整理 發表於 2020-11-27 15:21:39

　　電子束曝光原理

　　電子束曝光（electron beam lithography）指使用電子束在表面上製造圖樣的工藝，是光刻技術的延伸應用。

　　光刻技術的精度受到光子在波長尺度上的散射影響。使用的光波長越短，光刻能夠達到的精度越高。根據德布羅意的物質波理論，電子是一種波長極短的波。這樣，電子束曝光的精度可以達到納米量級，從而為製作納米線提供了很有用的工具。電子束曝光需要的時間長是它的一個主要缺點。為了解決這個問題，納米壓印術應運而生。

　　電子束曝光在半導體工業中被廣泛使用於研究下一代超大規模集成電路。

　　電子束曝光結構

　　電子束曝光的基本結構，從上往下依次為：電子槍、電子槍準直系統、電磁透鏡、消像散器、偏轉器、物鏡、光闌（Aperture）、電子探測器、工作檯（stage）以及真空泵（離子泵、分子泵、機械泵）。

　　電子槍：高解析度的熱場發射，配有高壓，電子束的能量通常在10~100KeV。

　　電子槍準直系統：對電子槍發出的電子束進行較直。

　　電磁透鏡：與光學透鏡類似，聚焦電子束。

　　消像散器：調節聚焦像散，減少誤差。

　　光闌：改變電子束流。

責任編輯：YYX

打開APP閱讀更多精彩內容

聲明：本文內容及配圖由入駐作者撰寫或者入駐合作網站授權轉載。文章觀點僅代表作者本人，不代表電子發燒友網立場。文章及其配圖僅供工程師學習之用，如有內容圖片侵權或者其他問題，請聯繫本站作侵刪。 侵權投訴

相關焦點

  • 電子束曝光(EBL)技術首次應用於蟬翅結構納米柱的仿生製造!
    例如人們根據蒼蠅特殊的「複眼」結構，仿照製成了「蠅眼透鏡」，用它作鏡頭可以製成「蠅眼照相機」，一次就能照出千百張相同的相片；還有仿照水母耳朵的結構和功能，人們設計了水母耳風暴預測儀；根據蛙眼的視覺原理，研製成功了一種電子蛙眼，能準確無誤地識別出特定形狀的物體
  • 詳解:電子束光刻技術與MEMS製造
    光源的波長是影響光刻精度的主要原因，由於光源波長的限制，X射線曝光可達到50nm左右的精度，深紫外光源的曝光精度在100nm左右，而電子的波長較小，因而電子束光刻的加工精度可以達到10nm以內。電子束光刻以其解析度高、性能穩定，成本相對較低的特點，因而成為人們最為關注的下一代光刻技術之一，下圖是麻省理工學院的科技人員利用電子束曝光技術加工出2.2nm的線寬。
  • 電子束曝光機與普通光學曝光機區別
    電子束曝光機 　　電子束曝光機是一種用於數學領域的分析儀器，於2007年01月01日啟用。 　　電子束曝光機是一臺加工設備，其加工目的是在電子束感光膠上製備出納米級的結構。該設備電子的加速電壓達到100KV，掃描速度12MHz，具有10個承片臺；因此其具有加工精度高，速度快，自動化程度高等特點，從而具有比較高的工作效率。加工樣品不需要掩膜版製備，使得圖形能夠靈活多變，非常適用於科研探索。
  • 韓立:電子束曝光機是半導體製造的基礎設備
    會議期間，來自中國科學院電工研究所的韓立研究員做了《電子束曝光及相關技術的研究》的報告。　　　　據介紹，電子束曝光（EBL）始於上世紀60年代，是在電子顯微鏡的基礎上發展起來的用於微電路研究和製造的曝光技術，是半導體微電子製造及納米科技的關鍵設備、基礎設備。
  • 示波器原理和電子束實驗裝置實驗目的
    示波器原理和電子束實驗裝置是在學生示波器基礎上研製的一種新型物理儀器，它自帶低頻信號發生器，可研究掌握示波器原理及各種不同類型信號的測量方法；研究和驗證電子束在不同的電場和磁場條件下的運動規律，並可精確測定電子荷質比，是集示波器，低頻信號發生器，電子束實驗儀於一體的綜合性實驗儀器；具有設計新穎，結構合理，操作簡便等特點，是各大中專院校物理教學
  • 一文看懂電子束與離子束加工工藝
    1、只使材料局部加熱就可進行電子束熱處理； 2、使材料局部熔化就可以進行電子束焊接； 3、提高電子束能量密度，使材料熔化和汽化，就可進行打孔、切割等加工； 4、利用較低能量密度的電子束轟擊高分子材料時產生化學變化的原理，即可進行電子束光刻加工。
  • 電子束焊的基本原理,分分鐘漲知識!
    ，是利用加速和聚焦的電子束轟擊置於真空或非真空中的焊件所產生的熱能進行焊接的方法。電子束焊接因具有不用焊條、不易氧化、工藝重複性好及熱變形量小的優點而廣泛應用於航空航天、原子能、國防及軍工、汽車和電氣電工儀表等眾多行業。
  • 電子束技術在材料加工中的應用
    電子束焊具有焊縫熔深大、熔寬小、熔縫純度高的特點，多用於高質量要求的結構的焊接，即可焊接薄板，也可焊接大厚度結構，目前已在航空、航天、核、汽車、壓力容器以及工具製造等工業中得到廣泛的應用。圖5西亞基電子束焊接系統電子束焊的原理如圖6，高能的電子束流撞擊工件表面，電子動能轉變為熱能而使金屬熔化和蒸發
  • 太赫茲脈衝啁啾操控電子束實現更短且更穩定的相對論電子束
    傳統上使用微波場對電子束脈衝進行壓縮會由於微波的相位噪聲導致壓縮後的電子束存在較大時間抖動，針對這個挑戰，本工作將「啁啾」的概念應用於電子束脈寬的壓縮並利用太赫茲波段的介質波導代替微波諧振腔，實現了利用太赫茲場操控電子束能量分布，並進而實現了對電子束脈寬的壓縮。
  • 斥資千萬歐元投資電子束光刻系統 這家德國公司意欲何為?
    據悉，新的電子束系統將由總部位於德國耶拿的電子束技術專家Vistec Electron Beam GmbH公司研製，將於2022年中期在德國德勒斯登工廠投入使用。該系統是開發和生產下一代超精密傳感器的核心部件，這對進一步開發DUV和在半導體生產過程中建立高精度EUV晶片曝光至關重要。
  • GT4521 電子束測試儀的應用
    GT4521電子束測試儀使用說明書 GT4521電子束測試儀用來研究電子在電場、磁場中的運動規律－荷質比」選擇開關打向電子束位置,輝度適當調節,並調節聚焦,使屏上光點聚成一細點.應注意：光點不能太亮,以免燒壞螢光屏.
  • 電子束可提高鈦合金耐蝕性能
    近年來，電子束表面處理技術快速發展，高能量密度的電子束作用到材料表面時使材料表面具有用常規方法難以達到的物理化學或力學性質，顯著提高材料表面的耐磨性、耐蝕性及耐高溫氧化性等。中冶東方工程技術公司採用脈衝高流低能電子束對鈦合金進行表面處理，取得了良好效果。
  • 研究發現，石墨烯層充當電子束的鏡子，電子分束器或將成為可能！
    石墨烯層可以作為電子束的鏡子，這是物理學家Daniël Geelen和同事使用一種新型電子顯微鏡發現的，其研究結果發表在《物理評論快報》期刊上。這種新技術稱為「eV-TEM」，這是電子顯微鏡的一種新變體，它能將電子束對準樣品，以便對其成像。
  • 【中國科學報】雷射電子加速獲創紀錄電子束
    ，在國際上首次接近了最先進的直線加速器上所能獲得的電子束亮度。　　本研究創新性地設計了級聯尾波場加速新方案，通過在兩段級聯的等離子體之間引入一段高密度等離子體，控制電子束的穩相加速及能量啁啾反轉和能散度壓縮，克服了單級尾波場加速方案中能散度無法獨立控制的技術瓶頸，實驗獲得了高品質的高能電子束。三維粒子模擬也揭示，該級聯加速新方案能夠有效地抑制電子的二次注入，實現電子束的穩相加速。
  • 伽馬射線和電子束輻照-食品知識科普(33)
    筆者根據2012年赴美國食品藥品監督管理局（FDA）學習時的材料，整理了一些科普素材，分享給大家，希望對普通消費者也有幫助。轉載請註明出處：微信公眾號CHINA-HACCP。（歡迎關注微信公眾號CHINA-HACCP）經過輻照巴氏殺菌處理的食品一般不含任何植物病原體。輻照阿氏殺菌是暴露在30至40千戈瑞的輻照劑量下。經過輻照阿氏殺菌處理的食品被視為是商業無菌的。伽馬射線和電子束輻照簡介電子束輻照和伽馬射線輻照在消除和減少食品中的微生物方面具有實用性。待輻照食品的尺寸和形狀是決定使用伽馬射線還是電子束輻照的最重要因素。
  • 電子束輻照技術在廢水處理中的基本應用
    隨著電子束輻照技術的發展，其在汙水處理方面表現出巨大的潛力：清潔、高效、無二次汙染，能夠分解處理多種汙染物質，因此日益受到人們的重視。電子束輻照技術就是利用被加速的電子束流轟擊或照射被處理對象，使之發生常規方法難以引發的物理化學及生物學反應，從而達到優化產品質量、提高產品性能、淨化物質等目的。
  • 鎢鉬時事|電子槍燈絲,如何在電子束蒸鍍中發揮作用?
    什麼是電子束蒸鍍？電子束技術的發現，使人們能夠使用低能耗、大電流電子束技術處理金屬表面。
  • 電子束光刻設備製造商Mapper進入破產程序,多家公司有興趣收購
    電子束光刻可以滿足小批量的產品的需求。電子束具有很高的解析度，較大的焦深與靈活性。其主要特點就是可以獨立地控制電子束書寫，從而不需要掩模。這使得新設計晶片的啟動成本很低，就使得小客戶能夠負擔得起，能實現少量的投產。 既然有如此多的優勢，那麼為什麼目前晶片生產中很少使用電子束光刻呢？
  • 透射電子顯微鏡的結構與成像原理
    透射電子顯微鏡的結構與成像原理透射電子顯微鏡是以波長極短的電子束作為照明源，用電磁透鏡聚焦成像的一種高解析度、高放大倍數的電子光學儀器。
  • 科學網— 新型自旋過濾器使電子束極化率躍升
    中科院上海光學精密機械研究所   本報訊（記者黃辛）中科院上海光學精密機械研究所強場雷射物理國家重點實驗室提出了一種基於尾場空泡加速的自旋過濾器，利用該方案有望獲得全光碟機動的緊湊高能極化電子源。 高能極化電子束被廣泛應用於高能物理（粒子對撞機）、核物理、材料物理等領域，然而產生這樣的電子束一般依賴於龐大、造價高昂的傳統加速器。雷射尾場加速具有超高的加速梯度，國際上過去十多年在電子能量、品質的提升方面取得了顯著進展，但極化粒子產生方面的研究幾近於無。 該研究團隊獨立發展了包含自旋效應的粒子模擬方法，開展雷射極化粒子加速研究。